工程材料第十三章材料表面技术应用.pptVIP

（1）设备的发展，如已制出电子束大型连续蒸镀设备、多种型式磁控溅射设备、新型弧源离子镀和多弧复合离子镀设备、各种离子束辅助沉积设备等。 （2）工艺的进展，主要表现在膜层种类的增多和膜层性能的提高。如己制备出高性能的耐磨抗蚀膜层，耐高温腐蚀膜层、热障膜层、类金刚石和立方氮化硼膜层及多种陶瓷、梯度和多层复合膜层。 （3）方法的复合，较先进的气相沉积工艺多是单一PVD、CVD方法的复合。它们不仅采用各种新型的加热源，而且充分运用各种化学反应、高频电磁(脉冲、射频、微波等)及等离子体等效应来激活沉积粒子。如反应蒸镀、反应溅射、离子束溅射、多种等离子体激发的CVD等。 §13.5 气相沉积技术 三、气相沉积技术的进展 四、气相沉积的应用 §13.5 气相沉积技术 1. 耐磨膜： TiC硬度高，但韧性差；TiN硬度稍低，但韧性好； Ti（C、N）——调节C/N，得到最佳性能组合。 ①沉积TiN高速钢刀具，如在Z2063钻床上加工Q235钢Ф63孔，原为钻、扩铰，改为钻，表面粗糙度提高一级，刀具寿命提高5～6倍。 ②沉积TiN硬质合金刀具。 ③沉积超硬膜于成型加工模具，如沉积TiC冲头的使用寿命可提高4～10倍。 ④纺织工业中与纤维摩擦件，沉积TiC后其摩擦系数比镀硬Cr降低一半，使用寿命延长6倍。 2. 润滑膜（减磨膜）：MoS2、Au、Ag……，如离子镀沉积Au、Ag等软金属膜可减摩。 3. 防蚀膜：如气相沉积Al、Cr等可防腐。 §13.5 气相沉积技术 搪瓷涂层主要是玻璃相（非晶态）组成，称上釉，而在玻璃相中镶填了大量的晶体相。 金银等贵金属搪瓷，又称珐琅。 ①耐磨搪瓷：水轮机叶片、船舶推进器等； ②耐蚀搪瓷：化学反应锅、反应管、反应塔等； ③耐热搪瓷：汽车、火车排气管、火箭高温涂层。 四、气相沉积的应用 模具CVD/PVD涂层 PVD涂层 §13.5 气相沉积技术 CVD TiN涂层 CVD金刚石刀具 四、气相沉积的应用 一、激光束表面技术 1. 激光表面改性的特点 （1）高功率密度。激光能量集中，与工件表面作用时间短，适于局部 表面处理，对工件整体热影响小，因此热变形很小。 （2） 工艺操作灵活简便，柔性大，改性层有足够厚度，适于工程要求。 （3）结合良好。改性层内部、改性层和基体间呈冶金结合，不易剥落。 §13.6 高能束表面技术简介 一、激光束表面技术 2.激光表面处理技术 （1）激光淬火（激光相变硬化） 以高能量的激光束快速扫描工件，使材料局部小区域内表面极薄一层快速吸收能量而使温度急剧上升（升温速度可达104～106℃/s），此时工件基体仍处于冷态，激光离去后，局部区域内的热量迅速传递到工件其它部位，冷却速度可达105℃/s以上，使该局部区域在瞬间进行自冷淬火，材料表面发生相变硬化。 ??? 汽车缸套内壁进行激光表面淬火, 内壁获得4.1mm～4.5mm宽、0.3mm～0.4mm深、表面硬度644 ～825 HV的螺纹状淬火带, 使用寿命比电火花强化缸套提高一倍。 激光表面淬火技术也应用于汽车发动机凸轮轴、曲轴、空调机阀板、邮票打孔机辊筒等零件的表面强化处理，显著提高了它们的使用寿命。 §13.6 高能束表面技术简介 一、激光束表面技术 激光淬火的特点： ①淬硬层组织细化，硬度比常规淬火提高15-20; ②淬硬层深度可精确控制，且工件变形小; ③对于槽壁、小孔、盲口、深口以及腔筒内壁等特殊部位，只要激光能照射到的部位均可进行处理; ④可进行大型零件局部表面的硬化及形状复杂零件的硬化处理; ⑤加热速度极快，工艺周期短，生产效率高，工艺过程易实现计算机控制，自动化程度高; ⑥可实现自冷淬火，不需要油或水等淬火介质。 适用于固态发生相变的材料，其中以调质碳钢、铸铁激光淬火效果最佳。 §13.6 高能束表面技术简介 一、激光束表面技术 §13.6 高能束表面技术简介 一、激光束表面技术 （2）激光表面合金化 激光表面合金化是指在高能激光束作用下，将一种或多种合金元素与 基材表面快速熔凝，使材料表层获得具有预定的高合金特性的技术。 §13.6 高能束表面技术简介 一、激光束表面技术 铸铁大型轧辊的激光合金化 （3）激光表面熔覆 激光表面熔覆是指利用激光加热基材表面以形成一个较浅的熔池，同 时送入预定成份的合金粉末一起熔化后迅速凝固、或者是将预先涂敷在基 材表面的涂层与基材一起熔化后迅速凝固，以得到一层新的熔覆层。 采用激光熔覆技术，在柴油机铸铁阀座的内衬（不锈钢制造）表面熔覆 Co基