第七章-先进制造技术.pptVIP

第三节 微机械及其微细加工技术 微机械微细加工并不仅限于微电子(Microelectronics)制造技术，更重要的是指微机械构件的加工(英文多为Micromachining)或微机械与微电子、微光学等的集成结构的制作技术。目前，微机械微细加工常用的有光刻制版、高能束刻蚀、LIGA、准LIGA等方法。 微细加工得到的铁塔微模型 第三节 微机械及其微细加工技术 微机械的 微细加工技术（Micromachining technology ）有以下特点： 从加工对象上看，微细加工不但加工尺度极小，而且被加工对象的整体尺寸也很微小； 由于微机械对象的微小性和脆弱性，仅仅依靠控制和重复宏观的加工相对运动轨迹达到加工目的，已经很不现实。必须针对不同对象和加工要求，具体考虑不同的加工方法和手段； 微细加工在加工目的、加工设备、制造环境、材料选择与处理、测量方法和仪器等方面都有其特殊要求。 第三节 微机械及其微细加工技术 1、硅微加工技术 硅是最基本的微机械加工材料，微细加工技术一般都要涉及硅材料。 硅微细加工技术所用的典型加工工艺为：去除(刻蚀、激光加工、机械钻孔等)和添加( 沉积绝缘体、金属等) 在衬底上“去除”的悬臂梁(a) 和在衬底上“添加”的悬臂梁(b) 第三节 微机械及其微细加工技术 体微机械加工技术 体微机械加工工艺是针对