《电子束对去除多晶硅中杂质元素的研究-谭毅》-精选课件(公开).pptVIP

杂质去除率与其饱和蒸气压的关系 杂质去除率与其饱和蒸气压的关系 硅熔体表面温度对杂质 去除率的影响 熔炼时间对杂质去除率的影响 电子束熔炼除杂的影响因素 硅的挥发损失率与熔炼时间的关系（15kW） 电子束熔炼下硅的挥发损失率 电子束熔炼下硅中P含量变化 电子束熔炼下硅中Al、Ca含量变化 熔炼时间对杂质去除效果影响 [P]/[P]0 与熔炼时间关系 [Al]/[Al]0 、 [Ca]/[Ca]0与 熔炼时间关系 P、Al、Ca都是以单原子形式挥发出硅熔体， 去除反应遵循一阶速率方程 电子束熔炼下硅中杂质去除机理 去除杂质的速率控制步骤 杂质在硅熔体中的去除过程： 熔体内的扩散行为 界面层反应 气相扩散 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 美国PE公司ICP-MS 金刚石切方机 电阻率测试仪 硅料清洗仪 少子寿命测试仪 四探针测试仪 定向凝固设备及制备硅锭 使用研发的多晶硅 制备的单晶硅棒 Thank you. * * * 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 电子束对去除多晶硅中杂质元素的研究 大连理工大学 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 谭毅 2010年3月16日 第六届太阳能级硅及光伏发电研讨会 背景 能源需求的日益增加与常规能源日渐枯竭的矛盾； 以太阳能、风能、生物质能、海洋能等为代表的新能源迅猛发展的大趋势； 2006.1《中华人民共和国可再生能源法》的颁布与实施等。 出处：《中国可再生能源发展研究报告》 当前太阳能电池发电成本：2.5元/度 火力发电成本：0.36元/度 7倍！ 多晶硅材料价格占太阳能电池价格的 50% 极大的制约了太阳能电池在中国的应用。 几种多晶硅生产方式比较 技术 名称 生产 方式 成本 （美元/kg) 产品 纯度 环境 污染 危险 系数 知识 产权 改良西门子法 合成、精馏、还原、氢化 50 8-10N 废气 废渣 中 德、美、意、日 硅烷法 合成、热分解 35 9-11N 废气 废渣 高 德、美、挪威 冶金法 真空熔炼、载能束冶金等 20 6N 无 低 日、中 冶金法提纯多晶硅 冶金法工艺流程概述 冶金法是通过金属冶炼的方式 提纯多晶硅的方法，有以下三 个特点： 冶金法不是单一方式，而是 整套方法； 硅不参与提纯过程中的反应； 冶金法包括物理和化学等提 纯途径。 电子束熔炼基本原理 将电子枪中的灯丝加热到一定温度，灯丝表面发射电子，电子在负高压作用下加速，轰击阴极表面使阴极而发射电子，电子在高压静电场中加速，之后经过磁透镜聚焦形成能量密度极高的电子束流，通过偏转扫描作用以特定的轨迹轰击到水冷铜坩埚中的材料表面，电子的动能大部分转化为热能，产生极高的热量，使材料熔化。 电子束熔炼炉示意图 几种电子束熔炼方式 冷床炉熔炼 滴熔 悬浮区域熔炼 电子束熔炼的特点 优点： 熔炼过程几乎不受温度限制，可以任意调节温度； 大功率连续生产时电子束熔炼成本较低； 电子束熔炼能量密度高，集热迅速； 电子束熔连时采用冷坩埚，避免了坩埚造成的污染。 不足： 设备成本较高； 电能消耗较大； 对设备制造者和操作者的技术水平要求较高。 电子束熔炼在金属材料提纯上的应用 1、在炼钢领域的应用： 用电子束冷坩埚熔炼法熔炼适用于电子原件的奥氏体不锈钢 时，成功的将其中夹杂物的含量降低至2～3×10-6； 2、在稀有金属提纯领域的应用： 金属钽, 经电子束一次熔炼后, 总气体含量可下降88% , 经二次 电子束熔炼后, 总气体含量可降低99%; 金属铌, 一次熔炼可使总气体含量降低89% , 二次熔炼可降低 96.5%; 金属钨, 一次熔炼可使总气体含量降低96% , 二次熔炼降99%。 电子束熔炼在硅提纯上的应用 电子束熔炼提纯硅材料是新发展起来的工艺，日本JFE已采用该技术提纯硅，纯度达到6N级别。 高温下大部分杂质元素的饱和蒸气压都较硅高，这就使得杂质在熔炼过程中不断挥发出来，并由真空系统带出炉体，硅熔体中杂质含量不断降低，进而达到提纯目的。 Ikeda等人的研究表明电子束熔炼对硅中杂质C、P、Ca、Al有显著地去除效果；Hanzawa等人研究了电子束熔炼下硅中杂质的去除机理，并验证了大规模生产的工艺可行性。