培训系列之真空镀膜技术基础.ppt

主讲人：张以忱;《真空技术》;主要内容;1. 真空镀膜概论;1.1 真空镀膜技术;1.2 真空镀膜特点;1.3 真空镀膜技术分类;真空表面处理技术的分类;各种干式镀膜技术的比较;1.4 真空镀膜的应用;薄膜的应用;2. 真空蒸发镀膜;2.1 真空蒸发镀膜原理;真空蒸发镀膜原理图;蒸发镀膜成膜条件;真空条件 蒸镀室内真空度应高于10-2Pa 室内残余气体的分子到达基片表面上的几率膜材的蒸发速率;蒸发条件 蒸发速率应足够大以达到工艺要求的沉积速率（kg/m2s）;清洗条件 基片应进行镀前处理（粗糙度小，??面上无污染物，无氧化化层等）;2.2 蒸发源;电阻加热式蒸发源 ——丝状源与箔状源;电阻加热式蒸发源 ——铝蒸发用坩埚加热器;电子束加热式蒸发源;电子束加热式蒸发源 ——e型枪工作原理示意图;电子束加热式蒸发源 ——e型枪电子束偏转角;感应加热式蒸发源;空心阴极等离子体电阻式加热式蒸发源;空心阴极等离子体电阻式加热式蒸发源