第五章电容感式传感器.pptVIP

概 述 电容式传感器不但广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 5.3.2 电容板材在线测厚仪 5.3 典型应用 5.3.1 电容式压力传感器 球型结构： 金属弹性膜片—动片（测量膜）；两个玻璃球面上镀有金属—定片；膜片左右两侧充满硅油。 工作过程： 两室分别承受低压PL和高压PH，硅油能将压差传递到测量膜片。 当P1 = P2时C1 = C2；膜片处于中间位置 当有差压作用时，测量膜片产生形变： P1 P2时，膜片向P2弯曲，C1 C2， P1 P2时，膜片向P1弯曲，C1 C2 P1 P2时，膜片向P2弯曲，C1 C2 因此 材料力学关系式 若电容采用脉冲宽度调制电路进行测量，可得出测量电路输出电压与压差成线性关系。 结构简单、灵敏度高、响应速度快。 工业生产自动控制中，膜片式压力计是最常用的一种，电容膜片压力传感器分为： 计示压力计（表压），绝对压力计，压差计。 计示压力计（表压） 以大气为基准，测管道、箱内、罐中压力 绝对压力计 以绝对真空为基准，测量蒸发罐、反应罐中的压力； 压差计 测两个压力的差值 绝对压力计 电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化 带材