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等离子体物理与技术Plasma Physics and Technology 西安交通大学 李永东 本章主要内容 第九章 等离子体产生方法 9.1 直流放电 9.2 容性射频放电 9.3 感性射频放电 等离子体的产生 天然等离子体(大爆炸、宇宙射线引起气体放电) 人工等离子体(实验室、工业中外加电场、射线引起气体放电) 引言 电离层 闪电 微波放电 交流放电 限定范围 低气压(10 Torr /1 kPa) 冷阴极/热阴极 低气压放电的类型 (汤生、亚正常辉光、正常辉光、异常辉光放电) 9.1 直流放电 注:课程中只涉及基本原理和方法,放电实验必须遵守相应的安全规定 不稳定 实验上通过减小串联电阻来实现 辉光放电的发光现象(1) 辉区:负辉区、正驻区、阳极辉区 暗区:阿斯顿暗区、阴极暗区、法拉第暗区、阳极暗区 鞘层:阴极鞘层、阳极鞘层(电位降) 放电管长短发生变化的话? 9.1 直流放电 辉光放电的发光现象 直接发光 紫外线激发荧光粉发光 9.1 直流放电 阴极区域的物理过程-汤生击穿判据 1个初始电子、经过雪崩电离后,所有离子运动到阴极,二次电子发射作用下,还能产生1个电子 9.1 直流放电 阳极d处雪崩电离形成的电子流 雪崩电离,α汤生第一电离系数 汤生第一电离系数的经验公式 γ二次电子发射系数 α/p:每个平均自由程的电离次数;E/p: 每个平均自由程获得的能量 击穿判据(稳定条件) 帕邢定律 击穿电压存在一个极小值 如何解释? 左半支:原子数太少/总平均自由程不够多 右半支:每平均自由程获得的能量少 极小值的大小与气体类型、阴极材料有关 9.1 直流放电 击穿电压 稳态运行时的阴极区域 阴极鞘层(阴极-负辉区边缘) (阴极位降区) 鞘层区域内主要为离子 9.1 直流放电 dn为阴极位降区厚度 dn为阴极位降区厚度 改进击穿判据(稳定条件) 空心阴极效应 一个长度不超过其直径的空心阴极,电子发射能力比同等尺寸的平板阴极高1-2个数量级 一般,空心阴极的半径小于阴极位降区厚度dn 增强发射的原因:阴极位降区全部在空心内,可能产生紫外线,全部形成光电离 阴极外只有负辉区、法拉第暗区和正柱区 9.1 直流放电 热电子发射 冷阴极:出射电子的温度低,放电的击穿电压和工作电压高(300-3000V) 热阴极(高温金属或金属氧化物),发射电流密度满足Richardson公式 典型材料:钨、锶、钡及其氧化物 氧化物阴极常用于荧光管、钨丝用于等离子体实验 直接加热、非直接加热(LaB6) 9.1 直流放电 T4 负辉区 “勤劳致富祖先的财富继承人”(财富:电子,来源于阴极发射和上一次电离) 电场近等于零(不劳而获!) 阴极区域加长:则负辉区变长,光强逐渐变弱直至法拉第暗区 阴极区域变短:过短,则无法形成放电! 法拉第暗区的消失:原因是电场逐步增大,电子被加热 9.1 直流放电 正柱区(1) 发光比负辉区均匀 几种形态:轴向均匀、条纹、近均匀 正柱区平衡态形成的过程 电子从轴向获得能量,形成平衡的电子温度Te 原子的电离率随电子温度上升而增大 正柱区长度内的电子生成与因双极扩散造成的损失相等 稳定机制:若电子密度下降?电导率降低-电场增大?电子温度上升?电子生成率提高 9.1 直流放电 放电形成从阳极向阴极运动的辉纹 正柱区(2) 双极扩散与稳定机制 正柱区的长度可延伸 维持电流不变/提供一个单位长度上一定的电压降 9.1 直流放电 电子生成 电子损失 两者平衡 相似性定律:两个放电管,如果以下条件满足,则其电子密度和电子温度相等 相似性参数1: E/p 电子在直流电场中获得的平均能量正比于Eλmfp 平均自由程λmfp反比于气体密度 相似性参数2: pd 汤生电离(电子倍增)系数 阴极位降区的厚度应该为固定的平均自由程数目! 阴极位降区的电压降Ud与气压无关 其它参数:(1) 电流(电子流+离子流) (2) pa 9.1 直流放电 能量取决于约化场强E/p 正柱区的电子温度只取决于约化场强和气体种类 放电管中的粒子数平衡 谢 谢 * 放电类型:直流、交流、射频(包括微波) * 汤生放电:汤生暗放电,电流微A量级,电压基本不受影响,无发光现象。 从汤生放电到亚正常辉光放电,实验上,减小串联电阻R,总电流增大,放电增强,放电管本身的电流提高更多,表现为负阻,分压降低。 * 放电管增长:则正柱区随之增长,其它区域基本不变 放电管变短:则法拉第暗区和正柱区变短,直至消失,其它区域基本不变 * * * * * * Polycrystalline:多晶; th
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