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6.3 激光与发光材料 激光在制备薄膜中的应用 ——脉冲激光沉积 KrF准分子激光器：248nm，能量范围～几百mJ，脉冲宽度20ns，重复频率：0.1~100Hz 6.3 激光与发光材料 激光在制备薄膜中的应用 ——脉冲激光沉积 6.3 激光与发光材料 固体激光材料 半导体激光材料（电激励为主） 一般采用异质结构，由半导体薄膜组成，用外延方法和气相沉积方法制得。根据激光波长的不同，采用不同掺杂半导体材料 。通常在可见光区域 ，以族化合物半导体为主；在近红外区域，以族化合物半导体为主；在中红外区域以Ⅳ-Ⅵ 族化合物半导体为主。 通过分立发光中心吸收光泵能量后转换成激光输出的发光材料。这类材料以固体电介质为基质，分为晶体和非晶态玻璃两种。激光晶体中的激活离子处于有序结构的晶格中，玻璃中的激活离子处于无序结构的网络中。常用的这类激光材料以氧化物和氟化物为主，前者具有良好的物理性质，如高的硬度、机械强度和良好的化学稳定性；后者具有低的声子频率、宽的光谱透过范围和高的发光量子效率。 6.3 激光与发光材料 固体激光器本质上也是满足一定特殊条件的发光固体。激光晶体也包括一种晶体材料作基质，向其中引入某种杂质离子作活化发光中心。与荧光材料和磷光材料不同，激光晶体具有特殊的激活和发光过程：激活过程是将活化中心注入到激发态，称作激励。这样的活化中心具有合理的寿命。换句话说，这些活化中心受激后并不立即发射能量回到基态，而是待激励遍及“全域”。因而激发态比基态具有更多的活化中心。发光时，从一个活化中心发出的光刺激其他活化中心，以致辐射在整个相中进行，于是就构成了相干辐射的强烈光束或脉冲。 6.3 激光与发光材料 最早的激光系统是红宝石激光器（Ruby lasser），由Maiman 1960年发现，红宝石激光器以刚玉为基质晶体，掺入0.05%wt 的Cr3+作活化中心。 能量（103cm-1） 4F1 20 4F2 非辐射跃迁 10 激活 2E 激光 693.3nm 0 4A2 基态 红宝石晶体中Cr3+的能级和激光发射 用氙光灯的强可见光照射到红宝石晶体上，Cr3+离子的d电子从基态4A2激发到较高的激发态4F1、4F2能级。这些能级上的电子通过非辐射过程很快回到稍低一些的能级2E。2E激发态能级的寿命非常长，约为5×10-3秒。这意味着有足够的时间可以将这种激发状况普遍化。从能级2E回到基态就产生激光。在这一转变过程，晶体相中许多离子互相激励、衰变，便产生了强的波长为693nm的相干红光脉冲。 6.3 激光与发光材料 反射镜 闪烁灯 红宝石 开关 激光束 红宝石激光器的设计 红宝石激光器的构造也是适应活化离子的机理和激光光束强度加强的需要。红宝石激光器的主体是一根长数百厘米、直径1-2厘米的红宝石晶体棒，周围环绕着闪烁灯，还可以在两侧也装上灯，使得它从各方向都受到有效的辐照。棒的一个侧端装有1个镜子，使得发出光又返回棒中。另一侧端装有Q阀。其实这是1个可旋转的的镜子，既可以允许激光束从系统中射出，又可以将光束返回棒中，只是当光束强度达到最佳要求时才被发射出来。这样，由于激光束在棒中往返通过，形成了更多的活化中心，就使初始相干辐射脉冲强度变大。 Nd3+也是重要的是激光活化中心离子，基质可采用玻璃，还可以用钇铝石榴石（YAG）。4F3/2激发态的寿命长达~10-4秒，发射出的激光波长，对Nd/玻璃为1060nm，对Nd/YAG为1064nm。 6.3 激光与发光材料 激光基体的类型和组成 激光晶体按化学分类有以下几种类型： （1）简单有序结构氟化物：基质常用CaF2、BaF2、HgF2等，激活离子有Nd3+、Sm3+、Dy3+、U3+等。 （2）氟化物固溶体：CaF2-YF3、LiYF4等为基质，Gd3+、Tb3+为激活离子。 （3）有序结构的氧化物体系：Al2O3: Cr3+、LiNbO3: Nd3+、MgO:Ni2+以及复合氧化物钇铝石榴石（YAG）等。 （4）高浓度自激活晶体：如NdP5O14中Nd3+的浓度在50℃可达到4×1021cm-3，比YAG: Nd3+最高掺杂（~1.2%）高60倍。这类晶体的激活成分本身就是基质的组成，故称作自激活晶体，是发展微型激光器最有应用前景的材料。 （5）色心晶体：碱金属卤化物，如LiF: Nd3+、LiF: Na+等。 （6）其他类型还有Ca5(PO4)3F: Nd3+、Sr5(PO4)3F: Nd3+、La2O2S: Nd3+等。 6