泰曼格林干涉仪测量液晶空间光调制器的相位调制特性.docVIP

第３ｊ卷第９期 ２００８年９月 中国激光 ＣＨＩＮＥＳＥＪ（）ＵＲＮＡＩ。ＯＦＩ．ＡＳＥＲＳ Ｖ０１．３５．Ｎｏ．９Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ。２００８ 文章编号：０２５８—７０２５（２００８）０９—１３６０－０５ 泰曼一格林干涉仪测量液晶空问光调制器 的相位调制特性 张洪鑫１’２ 张健１吴丽莹１ ，１哈尔滨工业大学超精密光电仪器丁程研究所．黑龙江哈尔滨１５００８０、 、 ２哈尔滨理＿Ｌ大学机械动力工程学院。黑龙江哈尔滨１５００８０ ／ 摘要为了评价美同ＢＮＳ公司反射式２５６ｐｉｘｅｌ×２５６ｐｉｘｅｌ纯相位液品空间光调制器（Ｉ。ＣＳＩ，Ｍ）的性能．提出利用 泰曼一格林十涉仪对相位涮制特性进行干涉测萤。实验结果表明，液晶空间光调制器的相位随厌度旱非线性分布，利用反插值法建讧线性查找表．校正了器件的非线性。非线性度由原来的１７．２３％减小到２．８５％；中心与边缘的相位调制，在同一灰度级最大相位差达Ｎ０．２２ｎ。中心相ｆ髓调制均方根误差是边缘的４倍，说明该器件存在相位调制的小均匀性，中心相位误差较人。在波前控制ｌｌＩ应给予校ｉＦ。 关键词 测量；牵｜．日Ｊ光调制器；泰曼格林下涉仪；相ｆ讧调制 中图分类号ＴＮ ７６１ 文献标识码 Ａ ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＪ１３６０ Ｐｈａｓｅ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ ｏｆＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＳｐａｔｉａｌＬｉｇｈｔＭｏｄｕｌａｔｏｒＭｅａｓｕｒｅｄｂｙ ａ Ｔｗｙｍａｎ—ＧｒｅｅｎＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ ＺｈａｎｇＨｏｎｇｘｉｎｌ?２ ＺｈａｎｇＪｉａｎｌ Ｗｕ Ｌｉｙｉｎ９１ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆＵｌｔｒａ—ＰｒｅｃｉｓｉｏｎＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ，ＨｅｉｌｏｎｇＪｉａｎｇ１５０００８，Ｃｈｉｎａ ２ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏＪ。Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， ＨａｒｂｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏＪＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ，Ｈｅｉｌｏｒ，ｃｇＪｉａｎｇ１５００８０，Ｃｈｉｎａ Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｉｎｏｒｄｅｒ ｔＯ ｅｖａｌｕａｔｅｔｈｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆ ａ ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ２５６ｐｉｘｅｌ×２５６ｐｉｘｅｌｐｈａｓｅ－ｏｎｌｙ ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｓｐａｔｉａｌ ｌｉｇｈｔｍｏｄｕｌａｔｏｒ（ＬＣＳＬＭ）ｆｒｏｍ Ａｍｅｒｉｃａｎ ＢＮＳＣｏｍｐａｎｙ，ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ａｒｅ ｐｒｏｐｏｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｐｈａｓｅｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｕｓｉｎｇａ Ｔｗｙｍａｎ—Ｇｒｅｅｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ ｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅ ｔｈａｔｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｏｎｂｅｔｗｅｅｎｐｈａｓｅａｎｄ ｇｒａｙ ｌｅｖｅｌｉｓｎｏｎｌｉｎｅａｒ．Ａｌｉｎｅａｒ ｌｏｏｋ ｕｐ ｔａｂｌｅｉｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｂｙｉｎｖｅｒｓｅｉｎｔｅｒｐｏｌａｔｉｏｎ ｔＯ ｃｏｒｒｅｃｔ ｔｈｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｙｆｏｒｔｈｉｓ ｄｅｖｉｃｅ．Ｔｈｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｙｄｅｃｒｅａｓｅｓ ｔＯ ２．８５％ｆｒｏｍ１７．２３％．Ｔｈｅｐｈａｓｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ ｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｃｅｎｔｒｅ ａｎｄｔｈｅｅｄｇｅｉｓ０．２２，ｃ ｏｎ ｔｈｅｅｑｕａｌ ｇｒａｙ ｌｅｖｅｌａｎｄｔｈｅｒｏｏｔ—ｍｅａｎ－ｓｑｕａｒｅｅｒｒｏｒ０ｆｐｈａｓｅｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ ｆｏｒｔｈｅｃｅｎｔｒｅ ｉＳ４ｔｉｍｅｓｏｆｔｈａｔｆｏｒｔｈｅｅｄｇｅ．ｗｈｉｃｈｓｈｏｗｓｔｈｅｐｈａｓｅｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｆｏｒｔｈｉｓｄｅｖｉｃｅｉＳｎｏｎｕｎｉｆｏｒｍａｎｄｔｈｅ ｐｈａｓｅ ｅｒｒｏｒ ｆｏｒｔｈｅ ｃｅｎｔｒｅ ｓｈｏｕｌｄｂｅｃｏｒｒｅｃｔｅｄｉｎｗａｖｅ—ｆｒｏｎｔｃｏｎｔｒｏｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ；ｓｐａｔｉａｌｌｉｇｈｔｍｏｄｕｌａｔｏｒ；Ｔｗｙｍａｎ—Ｇｒｅｅｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ；ｐｈａｓｅｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ １ 引言 空间光调制器（ＳＩ。Ｍ）是可以实时编程的衍射器件，它能够在町变的电驱动信号或光驱动信号的控制下，改变空间光分布的相位、振幅或偏振态。由于空间光调制器具有体积小、空间分辨率高、功耗 低、光能损耗小和町编程控制等优点，尤其是对光波方向和空间分布的控制表现出独有的优势一㈠，因此在光互联、光计算、光存储、光学计量、激光光镊、可编程控制透镜和自适应光学等方面具有极大的应用价值‘２’８１。 收稿日期：２０