尼曼 半导体物理与器件第一章.ppt

§1.6 固体中的缺陷与杂质 点缺陷－替位、填隙、空位和弗兰克尔缺陷。 线缺陷，亦称位错－刃形和螺旋。 面缺陷－孪晶和晶粒间界。 体缺陷－杂质或掺杂原子的析出现象。这些缺陷的产生是由在主晶格中的固溶度引起的。 理想单晶材料中不含任何缺陷与杂质，且晶体中的原子都处于晶格中的平衡位置，实际的晶体材料并非如此理想和完美无缺，存在原子的热振动。 * PPT课件 （1）点缺陷 * PPT课件 （2）线缺陷 * PPT课件 * 前边我们讨论的晶格结构都是理想晶格，但在实际中，晶格的完整性和周期性都可能遭到破坏，这种破坏就叫做缺陷。 * * * 杂质也是一种点缺陷 * 杂质也是一种点缺陷 * * 高等半导体物理与器件第一章 固体晶格结构 * PPT课件 课程讲授者：张旭琳 办公室：南区电子大楼912 联系电话：0755E-mail：zxlin@szu.edu.cn * PPT课件 课程概论 课程名称：高等半导体物理与器件 学分：3 时间：春季学期 * PPT课件 教材与参考资料 《半导体物理与器件》（第四版）， [美] D A Neamen著，赵毅强、姚素英、史再峰等译，电子工业出版社，2013年。 《半导体器件物理》（第3版），[美]施敏、伍国珏著， 耿莉、张瑞智译，西安交通大学出版社，2008年。 * PPT课件 第一章 固体晶体结构 第二章 量子力学初步 第三章 固体量子理论初步 第四章 平衡半导体 第五章 载流子输运现象 第六章 半导体中的非平衡过剩载流子 第七章 pn结 第八章 pn结二极管 第九章 金属半导体和半导体异质结 第十章 金属-氧化物-半导体场效应晶体管基础 第十一章 金属-氧化物-半导体场效应晶体管：概念深入 第十二章 双极晶体管 第十三章 结型场效应晶体管 第十四章 光器件 第十五章 半导体功率器件 课程内容 半导体物理 半导体器件基础 固体物理 量子理论 专用半导体器件 * PPT课件 第一章 固体晶格结构 §1.1 半导体材料 §1.2 固体类型 §1.3 空间晶格 §1.4 金刚石结构 §1.5 原子价键 §1.6 固体中的缺陷和杂质 §1.7 半导体材料的生长 小结 * PPT课件 §1.1 半导体材料 半导体（semiconductor），导电性介于导体与绝缘体的物质。 * PPT课件 元素半导体与化合物半导体 * PPT课件 §1.2 固体类型 有序化区域：原子或分子有规则或周期性几何排列的空间范畴。 非晶（无定形）：基本无序（几个原子或分子的尺度，即纳米量级，一般只有十几埃至几十埃的范围）。 多晶：长程无序，短程有序（成百上千个原子的尺度，每个晶粒的尺寸通常是在微米的量级）。 单晶：长程有序（通常包含整块晶体，一般在毫米量级以上）。 * PPT课件 §1.3 空间晶格 单晶：一典型结构或原子团在三维的每一个方向按某种间隔规则重复排列。 晶格：原子的周期性排列。将构成晶体的粒子抽象为一个点，这样得到的空间点阵成为晶格。用称为格点的点来描述原子排列。 * PPT课件 晶胞（单胞）：以格点为顶点、以三个独立方向上的周期为边长所构成的平行六面体；是可以复制出整个晶体的一小部分晶体，通常能够反映出整块晶体所具有的对称性。 原胞：可以复制得到整个晶格的最小单元。 晶格、原胞的选取都不是唯一的。 1.3.1 原胞和晶胞 单晶晶格二维表示 * PPT课件 晶胞和晶格的关系用矢量 、 、 表示，三个矢量可不必互相垂直，长度可以不相等，基矢长度称为晶格常数 。 每个等效格点可用下述矢量表示 其中，p、q、s为整数。 广义原胞 * PPT课件 立方晶系基本的晶体结构： 常见的三个基本的立方结构（1）简单立方结构（sc）（2）体心立方结构（bcc）（3）面心立方结构（fcc） 1.3.2 基本的晶体结构 * PPT课件 简立方结构 Simple Cubic 每个顶角有一个原子 体心立方结构 Body Centered Cubic 除顶角外在立方体中心还有有一个原子 y x z x z a y * PPT课件 面心立方结构 Face Centered Cubic 简立方的六个面的中心各有一个原子 z x y 例1.1：求体心立方单晶材料的原子体密度，其晶格常数a=5?。 解：原子体密度=（8×1/8+1）/（5×10-8）3 =1.6×1022个原子/cm3 实际密度是晶体类型和晶体结构的函数。 * PPT课件 晶面：晶格的格点还可以看成分列在平行等距的平面系上，这样的平面称为晶面。 1.3.3 晶面和米