工程测试和信号处理办法尺寸线位移测量.pptVIP

图为利用光栅传感器直接测量数控机床工作台位移量的现场照片。 工作台 光栅 工作台运动方向 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 磁栅式传感器 一、 磁栅式传感器的工作原理和结构 磁栅式传感器主要由磁栅和磁头组成。磁栅上录有等间距的磁信号，它是利用磁带录音的原理将等节距的周期变化的电信号(正弦波或矩形波)用录磁的方法记录在磁性尺子或圆盘上而制成的。装有磁栅传感器的仪器或装置工作时，磁头相对于磁栅有一定的相对位置，在这个过程中，磁头把磁栅上的磁信号读出来，这样就把被测位置或位移转换成电信号。 1．磁栅 1) 磁栅的结构 长磁栅的节距W一般为0.05?mm或0.02?mm 2) 磁栅的类型 磁栅分为长磁栅和圆磁栅两大类，分别用于测量直线位移和角位移。 长磁栅又可分为尺型、带型和同轴型三种。 磁栅式传感器实物图 2．磁头及其工作原理 磁头的作用是读取磁栅上的记录信号，按读取方式不同，磁头可分为动态磁头和静态磁头两种。 1) 动态磁头 动态磁头又称速度响应磁头。它由铁镍合金材料制成的铁心和一组线圈组成，如图。 2) 静态磁头 静态磁头是一种调制式磁头，又称磁通响应式磁头，它由铁心和两组线圈组成，如图所示。它与动态磁头的根本不同就是在磁头与磁栅之间没有相对运动的情况下也有信号输出。 二、磁栅式传感器的信号处理方法 动态磁头只有一个磁头和一组线圈，利用磁栅与磁头间以一定速度的相对移动读出磁栅上的信号，将此信号进行处理后使用。检测电路也较为简单。 静态磁头在实际应用中总是成对使用，即用两个间距为的磁头，其中n为正整数，为磁信号节距，也就是两个磁头布置成在空间相差90°。其信号处理方式分为鉴幅和鉴相型两种，其中鉴相型信号处理方式应用广泛， 将一组磁头的励磁信号移相45°(或把其输出信号移相90°)，则两磁头输出电压分别为 两电压相加得总输出电压为 输出信号是一个幅值不变、相位随磁头与磁栅相对位置而变化的信号，可由鉴相型检测电路测量出来。 容栅式传感器 容栅传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的一种新型传感器。它的电极不止一对，电极排列呈梳状，故称为容栅传感器。同组中有多个电极或多个电极并联，极大地提高了灵敏度。 容栅传感器可实现直线位移和角位移的测量，根据结构形式，容栅传感器可分为长容栅、片状圆容栅、柱状圆容栅三类。 1.直线形容栅传感器（长容栅） 长容栅结构原理图 式中，n—— 动尺栅极片数； a，b——栅极片长度和宽度。 容栅传感器的最小电容量理论上为零，实际上为固定电容C0，为容栅固有电容。当动尺沿x方向平行于定尺不断移动时，每对电容的相对遮盖长度a将由大到小，由小到大地周期性变化，电容量值也随之相应周期变化，如图所示，经电路处理后，则可测得线位移值。 2.圆形容栅传感器（片状圆容栅） 最大电容为： 式中 r1，r2 ——圆盘上栅极片内半径和外半径； α——每条栅极片对应的圆心角。 激光干涉测长 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图所示,用干涉条纹来反映被测量的信息。 移级 判向计数原理框图 干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π/2的脉冲信号。实现干涉条纹的四倍频记数。相应的测量方程变为 激光外差干涉测长技术 直流干涉仪：前置放大器为直流放大器。动镜从静止→运动→静止；干涉条纹变化频率从0 →最大值→0；光强转化的直流信号的频率变化范围也从0开始，需用直流放大器。 缺点：外界环境干扰能力差，只能在恒温防震条件下使用。 外差干涉仪：在干涉仪的信号中引入一定频率的载波，使被测信号通过这一载波来传递，干涉仪能够采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移。 载波信号产生方法：使参与干涉的两束光产生一个频率差，这样的两束光干涉会产生“光学拍”现象，转化为电信号得到差频信号。（光外差干涉）。 其中氦氖激光器上沿轴向施加以磁场，由于塞曼效应激光被分裂成有一定频率差的左旋偏振光f1和右旋偏振光f2 测量反射镜运动产生的多普勒频移可以表示为 测量镜的位移量可由下式计算 电感式不圆度测量系统外形 测量头 旋转盘 不圆度测量打印 电感传感器在粗糙度测量中的应用 ——手持式粗糙度仪 ?触针: 金刚石圆锥；?针尖圆弧半径：5μm；?可存储500个粗糙度参数值及4组轮廓数据；?可进行粗糙度参数的打印；?可对外圆、内孔、轴肩、圆锥面等各种复杂表面进行测试； 粗糙度仪外形 金刚石测头