高功率轴快流CO激光器基本原理结构.pptVIP

* 连续工作模式 * 门控频率=200Hz * 门控频率=5000Hz * 门控频率=50000Hz * * * * 风机控制原理 1、滤波器 2、整流器 3、变频器 4、中间电路5、制动斩波器 6、磁轴承控制器 7、逆变器 8、正弦波滤波器 9、涡轮风机 * 磁轴承控制器 * 1、径向传感器，上 2、径向磁轴承，上 3、控制器MBE-50 4、轴向磁轴承 5、保护轴承，上 6、轴向传感器 7、驱动轴 8、转子 9、定子 10、保护轴承，下 11、径向磁轴承，下 12、速度传感器 13、径向传感器，下 * 1、供电电源 2、控制电源 3、控制器 4、磁轴承驱动 5、传感器信号处理 6、数字接口 7、LCD显示 A、到磁轴承的信号 B、磁轴承返回信号 * 风机启停曲线 * 气体混和器 气体混和气将三种工作气体按照 特定的比例混合后冲入到激光器 真空腔内。 * 气体混合器原理图 * 激光器工作过程中的气压曲线 1、抽气 2、自动净化 3、充气 4、Beam off 5、Beam on 6、Beam off 7、关机 * 气压控制原理 * Trumpf CO2激光器功率检测 * 功率检测方法－输出激光采样 * 功率检测方法－尾镜取样检测 * Trumpf激光器功率采集 1、尾镜 2、功率传感器 3、冷却水 4、模拟量采集 * Trumpf CO2激光器控制系统 * 控制系统结构图 * Profibus连接原理图 * 1、Profibus通信电缆 2、以太网线 A、TASC3控制系统 B、BUSCH IO模块 C、射频电源控制模块 * TASC3 控制系统 1、软驱 2、电源 3、射频电源控制模块 4、多功能板 5、扩展插槽 6、CP600S嵌入式系统 7、Profibus从模块 8、Profibus主模块 * 主控制器 CP 600-S 处理器 奔腾133M 存储 32M Ram 8M flash 操作系统 Vx Works 维护 免维护 * * 1、32路输入模块 2、32路输入模块 3、RM2-DP12模块 4、数码管状态显示 5、Profibus DP接口 6、+24V电源 7、扩展槽 8、32路输出模块 BE1-BE4：输入插槽 BA1-BA4：输出插槽 * 模块地址编码 * RM2-DP12模块 * 输入模块 * 输出模块 * 射频电源控制模块 * 射频电源控制模块 1、A7通信接口板(RS232,Canbus) 2、A8 Profibus接口板 3、Profibus接口 4、A10安全联锁接口板 5、X8测量插头 6、扩展板 9、数码管状态显示 10，11、控制板 13、+5V，+\-15V电源 14、24V电源 * 射频功率反馈 * 射频功率控制 * 射频电源控制信号 RF ON RF OFF * 连续模式 脉冲模式 * 连续工作模式 * 检测示意图 1、热敏板 2、紫外灯 3、激光束（尾镜） * 未调整好的模式分布 调整好的模式分布 * 激光烧斑图样 * 扩束镜 采用扩束镜延长激光加工的可用光程，在飞行光路激光加工中广泛应用。 1、凹面镜 2、凸面镜 a、进入的光束直径 b、离开的光束直径 * 光闸 * Trumpf CO2放电结构 * 直流放电结构 * * 直流放电特点 电极位于放电管内，放电方向与光束方向一致； 可以有多种电极结构； 起辉电压高，一般要使用触发电极； 易产生放电不稳定性，要求在阳极形成湍流； 不易调制：工频直流电源，调制频率一般最大为2kHz，开关电源，调制频率一般最大为5kHz； 电源简单，无辐射污染。 * * 放电结构 1、玻璃管 2、放电区 3、放电电极 * 射频放电特点 电极位于放电管外，是电容耦合的横向放电(放电方向垂直于光束方向)； 电极形状要求严格，以提高放电的对称性； 起辉电压低； 放电均匀稳定，无可见的放电辉光抖动； 易于调制，调制脉冲频率可达100kHz； 电源复杂，易产生辐射污染，电源及放电管须进行屏蔽。 * * 高功率连续放电（85mA） 放电管4.2 放电管4.3 放电管4.1 * 射频放电 * * 多根放电管串联 * 两种放电结构 * 阻抗匹配 射频电源 13.56MHz 50欧姆 * 阻抗匹配器 * 阻抗匹配布置 为每台电源配置一个阻抗匹配器 * 阻抗匹配布置 1、左匹配器 2、右匹配器 AS：窗口 * 反射功率变化曲线 * 匹配网络对反射功率的影响 a、正常的匹配曲线 b、增长串联线圈 c、减小串联线圈 * 放电建立时间 * 匹配失调的原因 1、工作气压 2、气体比例变化 3、气体纯度 4、气