膜系光谱系数对膜层参数的一阶和二阶偏导数的计算模型.docVIP

第２２卷第１期 ２０１０年１月 文章编号：强ＨＩＧＨ激光与粒子束Ｖ０１．２２，Ｎｏ．１ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳＪａｎ．，２０１０１００ｌ一４３２２（２０１０）０１—００８３—０８ 膜系光谱系数对膜层参数的一阶和二阶 偏导数的计算模型’ 吴素勇，龙兴武，黄云，杨开勇 （国防科学技术大学光电科学与工程学院．长沙４１００７３） 摘要：为了寻找一种膜系深入分析与设计的有力辅助计算工具，从光学薄膜光谱系数的矩阵计算理论 出发。基于对矩阵求迹运算的巧妙运用，从数学上建立了准确计算膜系光谱系数关于膜层几何厚度、实际折射 率和消光系数等膜层参数的一阶和二阶偏导数的解析模型。这一偏导数计算模型物理七与矩阵理论具有一致 的通用性和普适性，适用于任何各向同性的均匀膜系统。在数学上也严格成立，数值编程计算不存在差分近 似．精度达到了计算机浮点运算的极限精度。而且算法运算费时少。计算速度快。取得了高度准确性和便于实 时化的双霞优越性能，非常有利于应用于膜系设计领域来提高膜层数较大时的设计速度和效率。同时，这一模 型能非常便捷和准确地给出膜系许多实用的导数信息，对膜系分析、测量和膜厚监控等领域中的相关应用具有 重要的参考意义。 关键词：薄膜光学ｔ光谱系数导数计算模型； 文献标志码：Ａ矩阵法；膜层参数中图分类号：０４８４．４ｄｏｉ：１０．３７８８／ＨＰＬＰ００８３ 膜系分析和设计在薄膜光学领域始终占有着莺要地位。一般地，膜系分析是指给定光学薄膜的膜层结构和参数，通过一定的方法Ｌｌ屯ｊ，计算出薄膜的光谱性质的过程。相反地，膜系设计是指采用一定的设计方法［３。］，寻找一定膜层结构和参数的薄膜．使其光谱性质尽可能地逼近要求的目标光谱性能。在进行膜系分析的实践中，发现仅仅计算薄膜的光谱系数的作用是十分有限的，经常需要更深入地分析膜层参数误差对膜系光谱性能的影响，需要更准确地计算膜系光谱系数对膜层参数的导数信息，这对于分析膜系的稳定性和膜层灵敏度非常有用［８］。在现代膜系设计中，对于许多基于膜系设计评价函数导数信息的局部优化方法，评价函数的梯度和Ｈｅｓｓｅ矩阵的准确计算和快速实现，对于提高膜系设计的速度和效率起了决定性的作用，特别是在膜层数较大时的效果更为明显１９。１引。在薄膜参数反演测鼍中，薄膜光谱系数对膜材料的光学参数和几何厚度的导数信息能为选择测量波长和入射角提供指导，还能估算由光谱系数测量不确定度带来的反演参数的不确定度。在膜厚沉积监控中，单波长监控策略中最敏感波长也是根据薄膜光谱系数对膜层几何厚度的导数最大值处的波长来选择的，对最小化由光谱系数测量数据的随机误差带来的膜厚直接监控误差是十分有利的［１１‘。因此，建立一种基于光学薄膜的物理效应，并能准确计算膜系光谱系数关于膜层参数的一阶、二阶偏导数的分析模型是很有必要的，也很有意义，是一项十分吸引人的工作。 １膜系光谱系数的矩阵计算理论 膜系光谱系数的矩阵计算方法是由ＦｌｏｒｉｎＡｂｅｈ自ｓ最早于１９５０年发明的。这一方法是描述各向同性的均匀分层介质中电磁波传播的Ｍａｘｗｅｌｌ方程组的直接结果。其理论前提假设是薄膜的横向宽度远大于薄膜厚度和入射波长，并且薄膜及其所在介质都是非铁磁性的，并且都不存在体电荷分布。这一假设在薄膜光学中是普遍成立的，在实际使用中通常都满足。 ｉｂｓｔｒａｔｅ 对于一个研层的各向同性的均匀膜系统，其结构模型 如图１所示。按从基底到入射介质的方向对各膜层进行编 号，设疗，，ｄ，，），，分别为第ｊ层膜的复折射率、几何厚度和折 射角。以。，以为入射介质的折射率和入射角，行。，托为基底的 折射率和折射角。由Ｓｎｅｌｌ定律，有开，ｓｉｎ乃一行。ｓｉｎｙ。＝Ｆｉｇ．１疗．ｍｅｄｉｕｆ广———．１山ｃｏａｔｉｎｇＬ一…ＬｏＩＨ．Ｏｐｔｉｃａｌｗｉｔｈｍｈｏｍｏｇｅｎｅｏｕｓａｎｄｉｓｏｔｒｏｐｉｃｌａｙｅｒｓ 图１ｍ层均匀的各向同性光学薄膜 ＊收稿日期：２００９－０４—１３；修订日期：２００９—０９—２２作者简介：吴索勇（１９８４一），男。博上研究生，主要从事光学薄膜设计与分析等研究，ｓｙｗｕ２００１＠１６３．ｅｏｍ。万方数据 强 激光与 粒子 束第２２卷 以。ｓｉｎ）＇。垒口，Ｊ＝１，２，…，ｍ。第Ｊ层膜的特征矩阵为 鸠＝Ｅ≥刮 式中：仍＝（２７ｃＡ）疗，ｄ，ｃｏｓｙｊ为第Ｊ层膜的相位厚度；Ａ为入射波长ｑｊ为第Ｊ层膜的的有效折射率，且有效折射率ｑ。，口。和ｑＪ满足如下关系 ｑａ ５ １竹。／ｃ。ｓ以，Ｐ—ｃａｓｅ’ ｆ，２。ｃｏｓ７。， Ｓ—ｃａｓｅ 吼２ Ｉ行。／ｃ。ｓｙ，，Ｐ—ｃａｓｅ’ ｆ以。ｃｏｓ７。， ｓ—ｃａｓｅ 仍２ Ｉ疮，／ｃ。ｓ），，，Ｐ—ｃａｓｅ （２） ｆ行Ｊｃｏｓ乃， ｓ—ｃａｓｅ 整个膜系的特征矩阵为 Ｍ—Ｍ。Ｍ“ｍＭ垒Ｐ