高数值孔径聚焦光穿过一个固体薄膜过渡区的远场衍射.PDFVIP

第 38 卷第 1 期 温 州 大 学 学 报 （自 然 科 学 版 ） 2017 年 2 月 Vol 38, No 1 Journal of Wenzhou University (Natural Science Edition) Feb, 2017 高数值孔径聚焦光穿过一个固体薄膜 过渡区的远场衍射 † 陈 亮，张耀举 ，庄友谊，戴瑜兴，阮秀凯 (温州大学物理与电子信息工程学院，浙江温州 325035) 摘 要：运用矢量角谱方法和折射定律导出了高数值孔径菲涅尔波带片 （FZP ）聚焦光穿过一个固体 薄膜过渡区的远场衍射表达式，应用所获得的公式研究了线性和径向偏振光经高数值孔径-相位 FZP 聚焦后分别穿过硅薄膜过渡区和玻璃薄膜过渡区后进入空气的远场聚焦特性．结果显示，固体薄膜过 渡区的存在，增加了聚焦系统的焦长，提高了 FZP 对径向偏振光的聚焦质量，降低了FZP 对线性偏振 光的聚焦质量． 关键词：矢量衍射，菲涅尔波带片，界面，聚焦，角谱方法 中图分类号：O436.1 文献标志码：A 文章编号：1674-3563(2017)01-0039-08 DOI ：10.3875/j.issn.1674-3563.2017.01.005 本文的 PDF 文件可以从 xuebao.wzu.edu.cn 获得 在许多显微应用中，为提高分辨率，常常需要用到高数值孔径物镜．尽管折射透镜有许多优 点，但是采用常规的研磨和抛光方法很难制作高数值孔径折射透镜．二元振幅和相位型菲涅尔波 带片 （Fresnel Zone Plate, FZP ）是平面型衍射透镜，它具有类似普通折射透镜的聚焦功能，另外 还具有普通透镜无法比拟的优点，例如，它的焦距既可以做得足够短，又可以做得足够长；它的 数值孔径可以做得很高 （接近 1）；它不仅可以对可见光聚焦，而且可以对红外、紫外、甚至x - [1] [2] [3] 射线聚焦．因此，菲涅尔波带片在远程光通信 、微波天线 、光刻 、高分辨率显微成像 （包括 [4-6] [7] 可见光、红外和紫外线成像） 、三维全息 等方面得到广泛应用． 随着光刻技术的发展，人们可以制作出高质量、低成本的高数值孔径 FZP[8] ．许多论文[9- 14] 研究了在单一介质中 FZP 的聚焦特性，但对于在多层介质中 FZP 的聚焦特性研究较少．2007 年， 本课题组[15]应用标量衍射理论分析了固体浸没低数值孔径多级相位菲涅尔波带片的近场聚焦特 性，发现浸没固体可以提高近场聚焦的分辨率．对于高数值孔径 FZP 的衍射，标量衍射理论不再 适用，必须采用矢量衍射理论．最近，我们应用矢量衍射理论分析了径向偏振光经固体浸没 FZP ① [16] 的近场聚焦特性，发现浸没固体可以提高近场聚焦光斑的强度和分辨率 ．进一步，课题组 提 出了在多层成像介质中FZP 的聚焦理论．在文献[16]中，我们给