液晶显示器件的工艺基础.pptVIP

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3、曝光 3.2.2 光刻工艺 玻璃基板 ITO 光刻胶 掩模板 曝光是在涂好光刻胶的玻璃表面覆盖掩模板,采用紫外光进行选择性照射,使光照部位的光刻胶发生化学反应,改变了这部分光刻胶膜在显影液中的溶解度。显影后,光刻胶膜显现出与掩模板对应的图形。 相关工艺参数:曝光时间、曝光强度 4、显影 3.2.2 光刻工艺 玻璃基板 ITO 光刻胶 显影目的:对于正性光刻胶,是将感光部分的光刻胶溶解去除,留下未感光部分的胶膜。负性光刻胶则相反。【正胶溶解,负胶凝固】 显影方法:曝光后的玻璃基板在显影液中浸泡 相关工艺参数:显影时间、显影液温度 5、坚膜(硬烘) 3.2.2 光刻工艺 玻璃基板 ITO 光刻胶 由于显影过程中,光刻胶膜会发生软化、膨胀,影响胶膜的抗蚀能力,因此显影后必须用适当温度烘焙玻璃去除水分,增强胶膜与玻璃的粘附性,该过程就叫做坚膜。 坚膜的方法:烘箱、红外光坚膜 6、刻蚀 3.2.2 光刻工艺 玻璃基板 ITO 光刻胶 刻蚀是用一定比例的酸液【HCl、HNO3、水]把玻璃上未受光刻胶保护的ITO膜腐蚀掉,而将有光刻胶保护的ITO膜保存下来,最终形成ITO图形。 相关工艺参数:刻蚀温度、刻蚀时间 7、去膜和清洗 3.2.2 光刻工艺 玻璃基板 ITO 去膜就是去除ITO表面的光刻胶膜。 3.2.2 光刻工艺 玻璃基板 ITO 光刻胶 玻璃基板 ITO 光刻胶 掩模板 玻璃基板 ITO 光刻胶 玻璃基板 ITO 光刻胶 玻璃基板 ITO 涂胶 曝光 显影 刻蚀 去膜 3.2.3 取向排列工艺 取向排列工艺流程: 玻璃基片清洗 涂覆取向膜 预烘 固化 摩擦取向 凸版印刷 80-90℃ 300-350℃ 3.2.4 丝网印刷制盒工艺 丝网印刷工艺简介 丝网印刷是将丝织物、合成纤维织物或金属丝网绷在网框上,采用手工刻漆膜或光化学制版的方法制作丝网印版。 现代丝网印刷技术,则是利用感光材料通过照相制版的方法制作丝网印版(使丝网印版上图文部分的丝网孔为通孔,而非图文部分的丝网孔被堵住)。印刷时通过刮板的挤压,使油墨通过图文部分的网孔转移到承印物上,形成与原稿一样的图文。 丝网印刷设备简单、操作方便,印刷、制版简易且成本低廉,适应性强。 工作原理p60 丝网印刷由五大要素构成,即丝网印版、刮印刮板、油墨、印刷台以及承印物。 丝网印刷基本原理是:利用丝网印版图文部分网孔透油墨,非图文部分网孔不透墨的基本原理进行印刷。 液晶显示器在制盒之前,要用丝网印刷法把公共电极转印点和密封胶印刷到显示面玻璃基板上。 3.2.4 丝网印刷制盒工艺 制盒工艺 制盒是将两片导电玻璃对叠,利用封接材料贴合 起来并固化,制成特定厚度的玻璃盒。 制盒工艺流程: 3.2.4 丝网印刷制盒工艺 印刷封框胶玻璃 印导电胶玻璃 预烘 喷粉 对位 成盒 固化 3.2.5 切割工艺 通常是在一张大玻璃基板上制作多个液晶显示器,因此需要采用切割工艺把 丝印成的大玻璃盒分割成多个小单元,才能灌注液晶。 1、切割工艺流程 切割 断裂 插篮 液晶显示器的引出电极面要露出,引出显示面板有上下玻璃之分。 上面玻璃 下面玻璃 2、切割设备 切割机 单刀切割机 多刀切割机 裂片机 手动裂片 自动裂片 3.2.5 切割工艺 3.2.6 灌注液晶与封口工艺 1、灌注液晶 再灌注液晶前需要对玻璃盒抽真空进行除气,灌注液晶后必须进行封口。 (1)灌注液晶的工艺原理 把玻璃盒放进密封室内抽真空,然后使封口处接触液晶,液晶在外 界气压作用下被冲入玻璃盒内。 (2)灌注液晶的工艺方法 针头式灌注法 特点:液晶用量节省,只适用于封口小的产品,易产生气泡 浸泡式灌注法 特点:液晶用量较多,适用于任何大小的封口,产生气泡少 (3)灌注液晶的工艺流程 3.2.6 灌注液晶与封口工艺 空盒插槽 置入真空室 抽真空 针头或浸泡灌注液晶 充气 滞留 擦拭封口处表面多余的液晶 灌注液晶的环境必须有较好的洁净度 2、液晶盒封口 封口原理:采用密封胶封接口,通过冷冻方法,让封口胶恰当地收缩带入封口内,再通过光照或加热使封接胶凝固,形成牢固的封口。 封口工艺: 先加热液晶,然后点封口胶,然后冷冻固化。 特点:设备复杂,但盒的均匀性好。 先点封口胶,然后冷冻固化。 特点:成本低,但盒的均匀性差。 点胶方法:手动点胶、自动点胶 封口胶的固化方法:紫外光固化和热固化两种 目前液晶显示器生产厂多选用

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