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水热法 主要原理：在高压釜里的高温、高压反应环境中， 主要原理：在高压釜里的高温、高压反应环境中， 采用水作为反应介质， 采用水作为反应介质，使得通常难溶或不溶的物 质溶解，反应还可进行重结晶。 质溶解，反应还可进行重结晶。 两个特点： 两个特点： 一是其相对低的温度， 一是其相对低的温度，二是在封闭容器中进行 溶剂热合成法 用有机溶剂代替水作介质，采用类似水热合 用有机溶剂代替水作介质， 成的原理制备纳米微粉。 成的原理制备纳米微粉。
3、气相化学反应法（CVD） 气相化学反应法（CVD） 主要原理： 主要原理：利用挥发性金属化合物的蒸汽 通过分解或相互反应合成所需粉体的方法。 通过分解或相互反应合成所需粉体的方法。 1）气相分解 A（g）→B（s）＋C（g） ）＋C CH3SiCl3 (↑ → SiC (↓ + 3HCl (↑ 2）气相合成 A（g）＋B（g）→C（s）＋D（g） ）＋B ）＋D TiCl4 (↑ + CH4 (↑ → TiC (↓ + 4HCl (↑
三、物理气相合成法 （1）直流等离子合成法 ） 特点： 特点：高温可进行化学反 应、效率高 缺点： 缺点：电极易污染材料 能耗高 （2）高频等离子合成法 ） 特点：除以上特点外， 特点：除以上特点外， 还有无污染， 还有无污染，能耗较低 ①②③直流等 ①②③直流等 离子发生器， 离子发生器， ④线圈 ⑤原料输入管 ⑥石英管 ⑦⑧工作气体 ⑦⑧工作气体 管路
（3）激光熔融法 ） 利用激光将固体熔融并且 打出固体表面， 打出固体表面，形成辉光 含粒子流、等离子等） （含粒子流、等离子等） 对辉光进行收集。 ，对辉光进行收集。 COLLECTOR FILTER 特点：高温可进行化学反应，纯度高， 特点：高温可进行化学反应，纯度高，可制备超微颗粒 （4）气流磨 ） 最广泛使用的粉碎方法 用于无须化学反应时 获得粉体颗粒尺寸范围 0.1~0.5m 粒度均匀
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