材料分析方法 哈尔滨工业大学 周玉 原子力显微镜.pptVIP

§12.2 原子力显微镜(AFM) 原子力显微镜(AFM)也称扫描力显微镜，是针 对扫描隧道显微镜不能直接观测绝缘体表面形貌 的问题，在其基础上发展起来的又一种新型表面 分析仪器。 一.结构 A是AFM待测样品，B是AFM针尖，C是STM 的针尖，D是微杠杆(悬臂梁)，又是STM的样品。 E为使微杠杆发生周期振动的调制压电晶体，用 于调节隧道间隙。样品A固定在三维压电晶体驱 动器(图中用AFM SF表示) 上，由驱动器进行x、 y扫描和z方向控制。两者都装在绝缘体 (氟橡 胶)F上，并固定在金属框架上。 AFM工作原理图 AFM针尖B在试样表面扫描时，由于试样表面不平，针尖原子与试样表面原子的间隙不断变化，原子间作用力变化。如试样与杠杆间作用力为F1时，对应杠杆向试样倾斜△Z，STM对应一隧道电流I0,当STM的PZ（控制STM针尖Z方向的压电陶瓷）不动，使AFM样品沿X(Y)方向移动，试样表面凸起， △Z↓，排斥力↑，杠杆右倾，STM隧道间隙S ↓,隧道电流↑，反馈AFM的Z方向压电晶体VZ ↓，样品右移。这样试样在杠杆针尖表面XOY扫描时，可记录试样表面各点的 （VXVYVZ)→XYZ, 获试样表面轮廓图。 二.工作原理 AFM 以STM作位移仪 试样与杠杆探针原子间作用力代替STM的隧道电流 STM作恒流仪，使AFM试样与杠杆探针原子间作用力恒定。 AFM表面形貌分析时，STM恒流使AFM试样与杠杆探针原子间作用力恒定。 AFM测作用力时，STM恒流作用使STM为位移仪。 1.试样表面形貌分析： STM恒流使AFM试样与杠杆探针原子间作用力恒定。 STM的PZ（控制STM针尖Z方向的压电陶瓷）不动，因试样表面高低不平，为保持STM的恒流，试样需随表面高低起伏前后移动，可记录试样表面各点的 （VXVYVZ)→XYZ, 获试样表面原子尺度三维结构图像。 三.应用 2.测针尖原子与试样表面原子间作用力 测出针尖与试样表面间距与作用力关系： ■STM针尖靠近杠杆，直至观察到电流ISTM（恒流） ■使样品沿Z方向由远→近靠近杠杆，Z ↓ →引力↑ →杠杆右移→STM间隙S ↑ → ISTM ↓ → STM向移动△Z，使S不变，ISTM（恒流）。此时该位置受力为F=K △Z,试样与杠杆针尖间距可由原始间距、试样移动距离、STM移动距离求出。 ■当试样连续向杠杆靠近时，可测出各位置的受力F、试样与杠杆针尖间距，从而胜出原子间作用力随距离变化曲线。 3.表面的弹性、塑性、硬度测定 当杠杆针尖B为硬质材料如金刚石时，可测通过测定试样压入深度Z（试样移动距离－STM移动距离）、杠杆的弯曲变形力（F=K △Z, △Z杠杆的弯曲大小），绘出Z—F曲线，从而反映材料的弹塑性。 AFM 第二篇 电子显微分析 第十二章 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 ◆扫描隧道显微镜（STM） （Scanning Tunneling Microscope) ◆原子力显微镜(AFM) (Atomic Force Microscope) §12.1 扫描隧道显微镜（STM）  ◆1982年，国际商业机器公司苏黎世实验室的葛.宾尼G．Binnig博士和海.罗雷尔H．Rohrer博士共同研制了世界第一台新型的表面分析仪器——扫描隧道显微镜(STM)。使人类第一次能够实时地观察单个原子物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质，被国际公认为上世纪80年代世界十大科技成就之一。 　 　为此，1986年，宾尼博士和罗雷尔与发明电子显微镜的鲁斯卡获诺贝尔物理学奖。 ◆以扫描隧道电子显微镜为基础，G．Binnig 等于1985年又发明了可用于绝缘体检测、分析的原子力显微镜(AFM)。 一、扫描隧道显微镜的工作原理 1.隧道效应 　　假设两金属被一厚度为s的绝缘体（如真空）隔开， 在金属中的能级如图所示，金属中EF费米能级电子逸出 表面的功分别为φ1、 φ2，按照经典电磁学理论，金属1 中EF能级电子至少要获得能量φ1，才能至金属2中。但 当S达到原子尺寸时，按量子力学理论，金属中的自由电 子具波动性，形成金属表面上的电子云，两金属表面电 子云将相互渗透（两金属透射波φT1与 φT2相互重叠),此 称之为隧道效应。 　　两片金属上加一电压VT，金属1中自由电子无需获得任 何能量，便有一定几率的电子跑至金属2，在两金属间形 成电流，称为隧道电流。隧道电流方向由电压极性决定。 　　 电子隧道效应与隧道电流 (a)隧道效应(两金属