物联网技术及应用05 智能处理技术 (2).pptVIP

5.2.3 嵌入式系统的发展前景及趋势 起步：上世纪80年代，国际上就有一些IT组织开始进行商用嵌入式系统和专用操作系统的研发。从硬件方面讲，32位和64位微处理器是目前嵌入式系统的核心。近年来，相继推出具有数字信号处理能力的微控制器和可编程系统芯片，给嵌入式技术的发展带来了无限活力。 全面展开：上世纪90年代以来，随着信息化、智能化、网络化的发展，嵌入式技术全面展开，目前已成为通信和消费类产品的共同发展方向。 硬件方面：不仅有各大公司的微处理器芯片，还有用于学习和研发的各种配套开发包，实现各种功能的芯片应有尽有。 软件方面：国外商品化的嵌入式实时操作系统已进入我国市场，如：WindRiver、Microsoft、QNX和Nuclear等产品；我国自主开发的嵌入式系统软件产品，如科银(CoreTek)公司的嵌入式软件开发平台DeltaSystem，中科院推出的Hopen嵌入式操作系统等。 5.2.3 嵌入式系统的发展前景及趋势 发展趋势：5个方面 开发技术：嵌入式系统开发不仅要提供嵌入式软硬件系统本身，同时还需要提供强大的硬件开发工具和软件包支持。 功能：随着网络化、信息化的发展，要求嵌入式系统不仅在硬件上要集成更多的功能，采用更强大的嵌入式处理器，逐步实施片上系统；软件采用实时多任务编程技术和交叉开发工具技术来保障软件质量和缩短开发周期。 通信：网络互连成为必然趋势，要求嵌入式系统硬件上提供各种网络通信接口（内嵌），软件上需要提供相应的通信组网协议、物理层驱动软件以及网络模块。 精简系统内核、算法，降低功耗和软硬件成本。 提供友好的多媒体人机界面。 5.3 MEMS技术 5.3.1 MEMS技术概述 定义：MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）即微机电系统/微机械系统/微系统，是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 组成：微传感器+微处理器+微执行器+通信接口4部分组成。 工作原理：外部环境输入信号，通过微传感器检测并转换成电信号，经过微处理器处理后，由微执行器执行动作，达到与外部环境“互动”的功能。 5.3.2 MEMS基本特点（7个） 微型化：MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。其体积可达亚微米以下，尺寸精度达纳米级，重量可至纳克。 机械电气性能优良：MEMS以硅为主要材料，而硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率则接近钼和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。 能耗低、工作效率高：很多的微机械装置所消耗的能量远小于传统机械的十分之一，但却能以十倍以上的速度来完成同样的工作。 可批量生产：MEMS采用类似集成电路的生产工艺和加工过程，用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS，自动化程度极高。可批量生产，使MEMS的生产成本大大降低，而且地球表层硅的含量为2%。几乎取之不尽，因此MEMS产品在经济性方面更具竞争力。 5.3.2 MEMS基本特点（7个） 方便扩展：由于MEMS技术采用模块设计，因此在增加系统容量时只需要直接增加器件/系统数量，因此非常方便扩展。 集成化：MEMS可以把不同功能、不同敏感方向或制动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。 学科上的综合交叉：MEMS技术是一种典型多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等，并集中了当今科学技术发展的许多尖端成果。通过微型化、集成化，可以探索新原理、新功能的元件和系统，将开辟一个新技术领域。 5.3.3 MEMS主要形式（4种） （1）传感MEMS技术 定义：是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电偶、谐振、隧道电流等来感受和转换信号的器件和系统，包括各种微传感器。 类型：主要有面阵触觉传感器、谐振力敏感传感器、微型加速度传感器、真空微电子传感器等。 （2）生物MEMS技术 定义：是用MEMS技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器。 特点：具有微型化、集成化、智能化、成本低的特点。功