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真空技术讲座一;目录;1.Why is vacuum？;应用物理与技术 　　低于一个大气压的稀薄气体的空间状态。 其可分为高真空、中真空和低真空，地球以及星球中间的广大太空就是真空。 一般是用特制的抽气机得到真空的。它的气体稀薄程度用真空计测定，现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到10-9大气压的高真空。;大气压随着离地面高度的递增而降低，基本上按指数规律下降。 18km高空，1/10 标准大气压 96km高空，1/106标准大气压;人为真空状态 人体胸腔压力吸气时接近大气压力 呼气时降到半个大气压之下。 真空泵组抽掉密闭容器的气体。 只能达到10-12~10-13Pa，远未达到绝对真空;2.真空度的表征及真空区域划分;真空度的单位 真空度单位有帕斯卡（Pa、Kpa、Mpa）、大气压（ATM）、公斤(Kgf/cm2)、毫米汞柱（mmHg）、巴（mbar、bar）、托（torr） 1MPa=1000KPa 1KPa=1000Pa 1大气压=100KPa=0.1MPa 1大气压=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg 1大气压=14.5PSI 1KPa=10mbar 1bar=1000mbar 1毫米汞柱 =1.000000142466321 1托= 1/760大气压;真空区域的划分;3.真空技术的历史回顾;托利拆里（Evangelista Torricelli）试验：证明真空的存在。 1640年，他制造了一支管大约一米长的玻璃管，密封管口用水银装满管子，并将管子垂直插入一个装满水银的盆子，于是水银柱降到大约76cm高，留下上面的真空就称为托利拆里真空 。 1654年葛利克发明了活塞真空泵。 马德堡半球实验 今天的低压舱就是按这个原理工作的 ;理论基础的奠定 1662年，爱尔兰学者罗伯特 玻义耳阐明了在 温度一定的条件下气体的压力与体积成反比的 这一性质 1738年，瑞士人伯努利提出了气体分子运动论。 (1)物质都是由大量分子组成的 (2)分子永不停息的作无规则运动 (3)分子之间存在着互相作用的分子力 1643~1879 爱迪生发明碳丝灯泡“电真空器件”推动电子技术发展 所谓电真空电子器件内部空间 为真空的电子器件，又称“真空电 子器件”。 ;真空电子器件：指借助电子在真空或者气体中与电磁场发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。具有真空密封管壳和若干电极，管内???成真空，残余气体压力为10-4～10-8帕。有些在抽出管内气体后，再充入所需成分和压强的气体。实现直流电能和电磁振荡能量之间转换的静电控制电子管； （1）将直流能量转换成频率为300兆赫～3000吉赫电磁振荡能量的微波电子管； （2）利用聚焦电子束实现光、电信号的记录、存储、转换和显示的电子束管； （3）利用光电子发射现象实现光电转换的光电管；产生X射线的X射线管； （4）管内充有气体并产生气体放电的充气充气管； （5）以真空和气体中粒子受激辐射为工作机理，将电磁波加以放大的真空量子电子器件。 自20世纪60年代以后，很多真空电子器件已逐步为固态电子器件所取代，但在高频率、大功率领域，真空电子器件仍然具有相当生命力，而电子束管和光电管仍将广泛应用并有所发展。 ;真空泵的发展历程： （1）德国科学家盖德 1905年 机械泵；1913年分子泵；1915年 扩散泵 （2）1916年美国人朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的所谓冷凝泵 （以上这些泵都是采用汞蒸气） （3）分馏式油扩散泵（真空泵油） 1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物； 1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就日渐普遍使用，并奠定了高真空技术的基础 （4）60年代的有扩散泵该经（材料、结构、扩散泵油） ;真空量规的发展历程 （1）最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。 （2）1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。 （3）1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。 （4）O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了有扩散泵等真空设备的发展和应用。 （5）1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。 （6）1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问