- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
1 深圳市宇顺电子有限公司 * 1 ITO玻璃基础知识 编制:佘光全 审核: A版 主要内容 一、什么是ITO玻璃; 二、ITO玻璃的基本结构 三、ITO玻璃的分类 四、ITO玻璃的生产工艺流程; 五、ITO玻璃的评价参数; 六、ITO膜面的判定; 七、ITO玻璃的选用原则; 八、ITO玻璃使用常见问题; 九、ITO玻璃的使用注意事项; 十、ITO玻璃的发展方向 ITO(Indium Tin Oxid)玻璃简介 在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜,就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃,通常简称为ITO玻璃。 特点:不仅要求导电性能好,而且还要具有玻璃一样高的透明度 一、什么是ITO ITO玻璃的基本结构: 基板 sio2 ITO 二、ITO玻璃的基本结构 基板: 我公司常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业中较常用的为钠钙型玻璃. 成本较高 玻璃硬度高,透过率好 硼硅型玻璃 含有钠、钾等离子,易产生渗透,影响产品性能 成本低 钠钙型玻璃 缺点 优点 钠钙型玻璃基本成份: 70-73 0-0.3 13-15 1.0-4.5 0-0.2 7-12 0.5-1.9 含量 SiO2 SO2 Na2O+K2O MgO Fe2O3 CaO Al2O3 成份 二、ITO玻璃的基本结构 (1)Si02层的作用: 主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力. (2)SiO2层的膜厚: 标准膜厚一般为250±50埃 (3)SiO2层中的其它成份: 通常为了提高ITO玻璃的透过率,在SiO2中会掺入一定比例的Si3N4 二、ITO玻璃的基本结构 Si02层: ITO(Indium Tin Oxid)层: 为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3,T表示SnO2,一般Sn(即Tin)的含量约为10%。 随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小.通常面电阻与ITO层膜厚的对应关系如下: 10 15 30 50 80 面电阻(Ω) 2000±200 1500±200 700±100 450±50 300±50 ITO层厚度(?) 二、ITO玻璃的基本结构 三、ITO玻璃的分类 根据基板玻璃表面状态的不同,通常分为以下三种类型: 将玻璃的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜 超抛光型 STN 将玻璃的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜 简单抛光型/TN精选玻璃 HTN 直接在玻璃的浮法面进行镀膜 未抛光型 TN 说明 类型 四、ITO玻璃的生产工艺流程 ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤: (1)切割倒角; (2)抛光; (3)镀膜 注:TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。 ITO玻璃简要生产工艺流程如下: 原片来料检验 切割 磨边倒角 清洗 检验 清洗 抛光 检查 SI02镀膜 ITO镀膜 检验 包装 入库 四、ITO玻璃的生产工艺流程 TN型玻璃不需经此流程 (1)切割磨边的工艺流程: 切割 磨边倒角 清洗 检查 入库 磨边类型及规格要求: 通常分为C型和R型两种 W 0.05mm?W?0.4mm,45°角 W 0.2mm?W?1.2mm 曲面半径 R?50mm 四、ITO玻璃的生产工艺流程 C型 R型 倒角的形状及公差 四、ITO玻璃的生产工艺流程 (2)抛光工艺流程: 用研磨料将玻璃表面磨平,使玻璃表面平整。对于STN型ITO玻璃是必须经过的一道生产流程 倒角后原片抛光 清洗 检查 入库 包装 四、ITO玻璃的生产工艺流程 (3)镀膜工艺流程: 四、ITO玻璃的生产工艺流程 镀膜方法: 镀膜的方法有:喷雾法;涂覆法;浸渍法;化学气相沉积法;真空蒸发法;测射法,但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。 磁控测射法: 在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体,在直流高压下,Ar被电离,在电场作用下轰击靶材,使铟和锡以原子和离子形式溅射出来,沉积在基板玻璃表面,同时被氧化,形成氧化铟锡膜。 四、ITO玻璃的生产工艺流程 五、ITO玻璃的评价参数 5.1透过率: 在波长为550nm的光波照射下,具有SI02阻档层玻璃的透过率不小于80%,其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。 透过率定义
文档评论(0)