电感式传感器线位移及尺寸测量概要.pptxVIP

第4章 电感式传感器·线位移及尺寸测量; 4.1 自感式传感器 4.2 差动变压器式传感器 4.3 涡流传感器 4.4 感应同步器 4.5 线位移及尺寸测量基本知识 4.6 电感式位移传感器 4.7 其它线位移及尺寸测量传感器 ;绪 论; 特 点 （1）工作可靠、寿命长； （2）灵敏度高、分辨率高; 位移:0.01μm;角度0.1”;输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。 （3）精度高、线性好; 在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。非线性误差：0.05%~0.1%； （4）性能稳定、重复性好。;4.1自感式(变磁阻)传感器; ;自感式电感传感器常见的形式 ;;;;非线性误差为:;差动式电感传感器的电感相对变化量为：;①差动式自感传感器的灵敏度比单线圈传感器提高一倍 ②差动式自感传感器非线性失真小,如当Δδ/δ=10％时 , 单线圈γ＜10％；而差动式的γ ＜1％ ③采用差动式传感器，还能抵消温度变化、电源波动、外界干扰、电磁吸力等因素对传感器的影响 ;;;;x;;; 当 增加 时，线圈电感增大ΔL，则; 为了提高灵敏度与线性度,常采用差动螺管式自感传感器。图(b)中H=f(x)曲线表明：为了得到较好的线性,铁芯长度取0.6l时,则铁芯工作在H曲线的拐弯处,此时H变化小。这种差动螺管式自感传感器的测量范围为(5～50)mm,非线性误差在0.5％左右。 ;4.1.3 电感传感器等效电路;4.1.4 自感式传感器的信号调节电路;反之，当铁芯向上移动同样大小的距离时，Z2=Z-ΔZ, Z1=Z+ΔZ，得： ;2.带相敏整流的交流电桥;4.1.5 影响传感器精度的因素分析;Part A 电感式传感器;1 初级线圈;2.3次级线圈;4衔铁;;副Ⅰ;;;（1）灵敏度;(5)零位残余电压及其补偿;零点残余电压产生原因： ①基波分量。由于差动变压器两个次级绕组不可能完全一致，因此它的等效电路参数（互感M、自感L及损耗电阻R）不可能相同，从而使两个次级绕组的感应电势数值不等。又因初级线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈匝间电容的存在等因素，使激励电流与所产生的磁通相位不同。 ;消除零点残余电压方法： （1）从设计和工艺上保证结构对称性 为保证线圈和磁路的对称性，首先，要求提高加工精度，线圈选配成对，采用磁路可调节结构。其次，应选高磁导率、低矫顽力、低剩磁感应的导磁材料。并应经过热处理，消除残余应力，以提高磁性能的均匀性和稳定性。由高次谐波产生的因素可知，磁路工作点应选在磁化曲线的线性段。;（3）采用补偿线路 ①由于两个次级线圈感应电压相位不同，并联电容可改变其一的相位，也可将电容C改为电阻，如图(a)。由于R的分流作用将使流入传感器线圈的电流发生变化，从而改变磁化曲线的工作点，减小高次谐波所产生的残余电压。图(b)中串联电阻R可以调整次级线圈的电阻分量。 ;②并联电位器W用于电气调零，改变两次级线圈输出电压的相位，如图所示。电容C(0.02μF)可防止调整电位器时使零点移动。;;4.2.4差动变压器的测量电路;;;4.3 涡流传感器(Eddy current sensors);;;2.测量电路;（2）调幅电路;Part A 电感式传感器;Part A 电感式传感器;Part A 电感式传感器;Part A 电感式传感器;Part A 电感式传感器;Part A 电感式传感器;Part B 线位移及尺寸测量传感器;Part B 线位移及尺寸测量传感器;电感测微头;Part B 线位移及尺寸测量传感器;电感式滚柱直径分选装置 ;变气隙式电感测微仪;; 微压力变送器 将差动变压器和弹性敏感元件（膜片、膜盒和弹簧管等）相结合，可以组成各种形式的压力传感器。;Part B 线位移及尺寸测量传感器;Part B 线位移及尺寸测量传感器;Part B 线位移及尺寸测量传感器;Part B 线位移及尺寸测量传感器;2. 磁栅式传感器; 2) 磁栅的类型 磁栅分为长磁栅和圆磁栅两大类，分别用于测量直线位移和角位移。;磁栅式传感器实物图; 磁头的作用是读取磁栅上的记录信号，按读取方式不同，磁头可分为动态磁头和静态磁头两种。; 2) 静态磁头 静态磁头是一种调制式磁头，又称磁通响应式磁头，它由铁心和两组线圈组成，如图所示。它与动态磁头的根本不同就是在磁头与磁栅之间没有相对运动的情况下也有信号输出。; （2）磁栅式传感器的信号处理方法;