KLA报警处理介绍.ppt

KLA 报警处理 一. KLA2135 报警处理 二. KLA2138/39 报警处理 三. KLA AIT 报警处理 四. Tencor6420 报警处理 五. KLA SP1 报警处理 1.手动退片(wafer在stage上) A. Init stage ( calibration→ Init System → Init stage) B. Init robot ( calibration→ Init System → Init robot) C. 如果故障期间没有移动cassette, run →more →unload,一般情况下都可以解决问题 D. 如果故障期间移动了cassette,或者按照C的做法无法退出wafer. calibration →manual load/unload →manual unload.这种方法只能将wafer退到手臂上,然后在manual load/unload →vacuum off.关掉真空后,需要用手取下圆片.操作时只要谨慎些,一般不会造成wafer的划伤和沾污,用手取片的时候也有足够的空间来操作. E. 如果上述方法都无法退出stage上的wafer,出现vacuum或者其他的报警,这时stage已经走到了unload position,只需要将stage的真空关闭就可以用手取片,这时主要是圆片上方空间比较狭窄,两只手夹住wafer边缘,即可将wafer抽出来,切忌不可用单手拿,很容易划伤. 一.KLA2135 报警处理 KLA2135 报警处理 2. 手动退片(wafer在手臂上) calibration →manual load/unload →manual unload.这种方法只能将wafer退到手臂上,然后在manual load/unload →vacuum off.关掉真空后,需要用手取下圆片.操作时只要谨慎些,一般不会造成wafer的划伤和沾污,用手取片的时候也有足够的空间来操作. KLA2135 报警处理 3. robot error 当机台在做片时出现报警,手臂处于非正常位置,比如插在cassette里没有退出来, calibration→ Init System → Init robot,执行这个操作的时候,必须确认cassette的位置正常,手臂没有送错slot位,没有擦片或者碎片. KLA2135 报警处理 4. PC 死机 2135的PC是DOS,极少情况会死机,一般PC的故障分以下四种: A. 在正常的2135操作软件中,无法进行正常的操作,或者操作没有响应,ctrl+alt+del重起PC,当重起后第一次进入2135的软件,系统会认为是非法退出,所以系统提示还需重起一次(系统提示应该是按任意键重起).正常进入软件后,需Init System. B. 2135的系统退到DOS环境下出现死机, ctrl+alt+del重起PC,这种情况系统只需重起一次,正常进入软件后,需Init System. C. 系统被人误操作退到了DOS环境下 ,显示提示符C:\escort,这时,只要输入menu3即可进入操作软件. D. 如果键盘没有响应,则需将键盘下方的设备面板打开,2135的PC是背对我们放的,reset是一个长条形或者方形的按钮. 二. KLA2138/39 报警处理 1. 手动退片 由于2138/39使用的是NT的系统,操作起来相对简单,下图是手动load/unload的界面. Wafer handling KLA2138/39 报警处理 A. 尝试wafer unload来退出在stage或者robot上的wafer B. 如果wafer unload无法退出wafer,用Automatic wafer recovery C. 如果wafer在手臂上始终无法退回cassette,在advanced的下拉菜单中可以控制robot的vacuum,关掉vacuum就可以手动取片. KLA2138/39 报警处理 2. robot error 当机台在做片时出现报警,手臂处于非正常位置,比如插在cassette里没有退出来, calibration→ Init System → Init robot,执行这个操作的时候,必须确认cassette的位置正常,手臂没有送错slot位,没有擦片或者碎片. KLA2138/39 报警处理 3. PC 死机 2138和2139的PC差别不大,由于使用的是NT的系统,所以处理死机的故障跟我们使用自己的电脑没有什么不同. A. 任务管理器,关闭当前使用的软件