四川大学材料学院薄膜物理与器件复习提纲.docVIP

饱和蒸汽压： 在一定温度下， 单位时间内蒸发出来的分子数与凝结在器壁和回到 蒸发物质的分子数相等时的蒸汽压称为饱和蒸汽压。 油扩散泵是借助于喷嘴中高速喷出的油蒸汽喷流的动量而输运气体的泵。 原理：底部的扩散泵油被加热后产生大量的油蒸汽， 通过管道传输到上部， 经伞 形喷嘴向下喷射出较长的距离，喷射速率达到 200m/s。 上下的气压差使真空室内气体向下扩散， 与油分子碰撞发生能量交换， 驱使被抽 气体分子沿蒸汽流方向高速运动，带到出气口，由机械泵抽走。 油蒸汽喷到水冷的泵壁被冷凝成液体， 流回泵底又被再次加热成蒸汽， 循环工作， 从而获得高真空。 由于油蒸汽将气体分子集中推向出气口， 使泵内出口压强大于进口压强， 这样气 体分子有从出口向进口进行反扩散的趋势； 但因蒸汽流本身形成了阻挡层， 减少 了气体的扩散效果。 当进出口之间的反压和油蒸汽流的作用平衡时， 泵就失去了 进一步抽气的作用，即达到极限真空。 为了减小反扩散， 通常采用三级甚至五级喷口的多级泵， 从而提高极限真空度和 抽气速率。 泵油的基本要求： 1、扩散泵的极限真空取决于泵油的蒸汽压。在室温下，一般要求扩散泵油的饱 和蒸汽压小于 10-4Pa； 2、为了提高泵的反压强，在蒸发温度下，泵油的蒸汽压要尽可能的大。 3、泵油应具有较好的化学稳定性（无腐蚀、无毒） 、热稳定性（高温下不分解） 和抗氧化性（高温下突然接触大气时