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acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing) acceptor: 受主，如 B，掺入 Si 中需要接受电子 ACCESS：一个 EDA（Engineering Data Analysis）系统 Acid：酸 Active device：有源器件，如 MOS FET（非线性，可以对信号放大） Align mark(key)：对位标记 Alloy：合金 Aluminum：铝 Ammonia：氨水 Ammonium fluoride：NH4F Ammonium hydroxide：NH4OH Amorphous silicon：α-Si，非晶硅（不是多晶硅） Analog：模拟的 Angstrom：A（1E-10m）埃 Anisotropic：各向异性（如 POLY ETCH） AQL(Acceptance Quality Level)：接受质量标准，在一定采样下，可以 95%置信度 通过质量标准（不同于可靠性，可靠性要求一定时间后的失效率） ARC(Antireflective coating)：抗反射层（用于 METAL 等层的光刻） Antimony(Sb)锑 Argon(Ar)氩 Arsenic(As)砷 Arsenic trioxide(As2O3)三氧化二砷 Arsine(AsH3) Asher：去胶机 Aspect