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物联网概论 第三章 传感器技术 2 目 录 　3.1 传感器及智能设备概述　 　3.2 传感器原理　 　3.3 智能传感器　 　3.4 微机电系统传感器　 3 3.1 传感器及智能设备概述 　3.1.1 传感器的定义　 　3.1.2 传感器的分类　 　3.1.3 传感器的组成　 　3.1.4 传感器节点　 4 3.1.1 传感器定义 传感器和人们的日常生活密切相关 传感器具有的社会意义 传感器在经济建设中占据重要地位 5 3.1.1 传感器定义 传感器在经济建设中的应用 利用适当的传感器，例如：压电传感器、加速度传感器、超声传感器、湿度传感器等，可以有效的建立一个三维立体的防护监测网络。该系统可以用于监测桥梁、高架桥、高速公路等道路环境。对许多老旧的桥梁、桥墩长期受到水流的冲刷，传感器能够放置在桥墩底部，用以感测桥墩的结构、桥墩被腐蚀情况等；也可以放置在桥梁两侧，搜集桥梁的温度、湿度、震动幅度等。有效减少断桥造成的生命财产损失。三峡大坝里一共埋设了万余台/只检测仪器和传感器，这些“眼睛”时刻监测三峡大坝是否稳定，有无沉降。 6 3.1.1 传感器定义 传感器（Sensor）的定义：国家标准GB 7665-87定义：传感器（Transducer/Sensor）为能感受规定的被测量并按一定规律转换成可用信号输出的器材或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。 半导体敏感元器件可以直接输出电信号，本身就构成传感器！ 根据传感器转换原理分类 7 3.1.2 传感器的分类 按被测量性质分类 8 3.1.2 传感器的分类 按感知元件分类 9 3.1.2 传感器的分类 按用途分类 10 3.1.2 传感器的分类 按工作原理分类 11 3.1.2 传感器的分类 按输出信号分类 12 3.1.2 传感器的分类 按所用材料分类 13 3.1.2 传感器的分类 14 3.1.3 传感器的组成 图3-1 传感器的组成示意 传感器节点是无线传感器网的基本功能单元，节点间可采用自组织方式组网，通过无线/有线通信进行数据转发，节点都具有数据采集与数据融合转发的双重功能。节点对自身采集的信息和其他节点转发过来的数据做初步处理和融合之后，以相邻节点接力传送的方式传送到基站，再通过基站以互联网、卫星等方式传送给最终用户。 15 3.1.4 传感器节点 16 3.1.4 传感器节点 图3-2 无线传感器节点的结构 电阻传感器 金属皆有电阻，其值随材料种类与形态而异。同样材料，越细或越薄，则电阻越大。当施加外力时，金属若变细变长，则阻值增加；若变粗变短，则阻值减小。如在发生应变的物体上装有金属电阻，当物体伸缩时，金属体也按某一比例发生伸缩，因而电阻值产生相应的变化。此即金属电阻的应变效应，由此可制造出种种传感器。 17 3.2 传感器原理 电阻传感器——电阻式应变式传感器 由基体材料、金属电阻应变丝或应变箔、绝缘保护层和引线等部分组成。当传感器受外力作用导致金属丝受外力作用时，金属丝的长度和截面积都会发生变化，压力传感器电阻值即随之发生改变：如金属丝受外力作用伸长时，截面积减少，电阻值增大。当金属丝受外力作用而压缩时，长度减小而截面增加，电阻值则会减小。只要测出加在电阻上的变化（通常是测量电阻两端的电压），即可获得应变金属丝的应变情况。 18 3.2 传感器原理 电阻传感器——压阻式传感器 利用单晶硅半导体材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅半导体材料在某一轴向施加一定压力而产生应力时，其电阻率会发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器是通过在半导体基片上经扩散电阻而制成的一种纯电阻元件。基片可直接作为测量传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥形式。为基片受外力作用而产生形变时，电桥就会产生相应的不平衡从而输出电信号。 19 3.2 传感器原理 电阻传感器——热敏传感器 热敏电阻器主要是利用电阻值温度变化而变化这一特性来测量温度及与温度有关的参数。热敏电阻器的典型特点是对温度敏感，不同的温度下表现出不同的电阻值。 20 3.2 传感器原理 电阻传感器——光敏传感器 光敏电阻材料主要是金属硫化物、硒化物和碲化物等半导体。通常采用涂敷、喷涂、烧结等方法在绝缘衬底上制作很薄的光敏电阻体及梳状欧姆电极，接出引线，封装在具有透光镜的密封壳体内。黑暗中，材料电阻值很高，光照时，只要光子能量大于半导体材料的禁带宽度，则价带中的电子吸收一个光子的能量后可跃迁到导带，并在价带中产生一个带正电荷的空穴，这种由光照产生的电子-空穴对增加了半导体材料中载流子的数目，其电阻率变小，电阻阻值下降。光照越强，阻值越低。 21 3.2 传感器原理 电容传感器 电容式传感器是一种将其他被测量（如尺寸、压力等）的变换以电容