Q_320292AAJB01-2019KF(系列)原子层沉积装备.pdf

0 G93 Q 江苏微导纳米装备科技有限公司企业标准 Q/320292AAJB01—20 19 代替Q/320292AAJB01-2018 KF （系列）原子层沉积装备 2019-11-21 发布 2019-11-22 实施 江苏微导纳米装备科技有限公司 发布 Q/320292AAJB01—20 19 前 言 本标准代替Q/320292AAJB01-2018 《原子层沉积设备》。 本标准与前版本标准相比较，技术要求无重大变动。 本标准编制符合GB/T 1.1-2009 规定。 本标准由江苏微导纳米装备科技有限公司技术中心提出并起草。 本标准由江苏微导纳米装备科技有限公司批准。 本标准主要起草人：黎微明、马锁。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：Q/320292AAJB01-2018 、Q/320292AAJB01-2017 。 I Q/320292AAJB01—20 19 KF （系列）原子层沉积装备 1 范围 本标准规定了KF （系列）原子层沉积装备的分类与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、 包装、运输、贮存。 本标准适用于KF （系列）原子层沉积装备。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T 6070-2007 真空技术 法兰尺寸 GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第1 部分：通用技术条件 GB/T 13306-2011 标牌 GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件 JB/T 7673 真空设备型号编制方法 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 3 产品分类与命名 3.1 型号 KF □ □ 采用不同的英文字母表示不同的结构。 规格、型号。 产品代号。 3.2 基本参数 基本参数见表1。 表1 基本参数 项目 参数 有效反应温度（℃） 50~300 电压/额定功率（V/kW ） 380/150 工艺气体压力/额定流量（MPa L/min ） 0.2/100 填充气体压力/额定流量（MPa L/min ） 1.0/500 气压/额定流量（MPa L/min ） 0.6/400 水压/额定流（MPa L/min ） 0.5/