复旦大学半导体物理讲学课件1.pdfVIP

半导体物理 主讲人：蒋玉龙 微电子学楼312室 Email: yljiang@ 1 课程简介1 课程代码：INFO130022.01 课程性质：专业必修 学分：3 时间：周三（3, 4 ）、周五（3, 4 ） 教室：Z2207 课程特点：内容广、概念多 课程要求：着重物理概念及物理模型；基本的计 算公式 课程考核：考勤（10%），作业（20% ），期中 （30% ），期末（40% ） 课程简介2 参考书 1. Charles Kittel, 《固体物理导论》，化学工业出版社 （2005 ） 2. 刘恩科，朱秉升，《半导体物理学》，国防工业出版社 （2003 ）. 3. 叶良修，《半导体物理学》，高等教育出版社（1987）. 4. R. M. Warner, B. L. Grung ，《Semiconductor-Device Electronics》，电子工业出版社（2002 ）. 5. K. Seeger，《Physics of Semiconductor: An Introduction》，4th Ed. Springer-Verlag (2004). 6. 茹国平，《半导体物理讲义》（2007 ） 7. 陆昉，《半导体物理讲义》（2007 ） 课程简介3 量子力学 统计物理 固体物理 半导体物理 半导体 半导体 半导体 材料 器件 工艺 半导体 集成电路 第一章 绪论 一、什么是半导体(semiconductor) 二、半导体的主要特征 三、半导体的发展历史和现状 四、半导体的明天 一、什么是半导体(semiconductor)？ 导 体 半 导 体 绝缘体 电阻率 10-6～ 10-4 10 -4～ 10 10 10 10 (Ωcm) L L R ρ S ρ S 二、半导体的主要特征: 电阻率可在很大范围内变化 例子：杂质对半导体电阻率的影响 硼 / 1 百 万 磷 / 1 百 万 硅 2x105 0.2 2x10 5 Ωcm 硅的纯度仍高达99.9999% 温度对半导体的影响 ρ 纯硅: T=300K ρ=2x 105 Ωcm 半导体 4 T=320K ρ=2 x 10 Ωcm 金属