精密和超精密加工第六章.pptVIP

疏 达 2010年10月;6.1 概述 6.2 在线检测与误差补偿方法 6.3 微位移技术 ;一、保证零件加工精度的途径;二、加工精度的检测;在线检测特点;三、误差补偿技术;2.误差补偿的类型;2.误差补偿的类型;3.误差补偿过程;1）误差信号的检测 2）误差信号的处理 3）误差信号的建模 4）补偿控制 5）补偿执行机构;5.误差补偿技术的发展;第2节 在线检测与误差补偿方法; 消去x(θ)和y(θ)得三点法误差分离基本方程为;测量时，若取采样点数为N，则令;转位法;转位法;闭合等角转位法;对称转位法;由式（1）、（3）可得;2.平面类形状位置误差的测量方法;若检测装置重复性好，可认为;平移法;两点法;三点法;三点法;二、在线检测与误差补偿系统应用;2.磨削工件圆度的误差补偿;3.镗削工件内孔圆柱度的误差补偿;4.立铣工件直线度的误差补偿;5.数控立铣工件平面度的误差补偿;6.精密丝杠螺距的误差补偿;第3节 微位移技术;二、微位移机构的类型;Date;三、典型微位移工作台;2.电磁控制微位移工作台;3.磁致伸缩微位移工作台;4.电致伸缩微位移工作台;5.压电效应微位移工作台;尺蠖式压电陶瓷电机;三坐标压电微位移工作台; 设3个管状压电器件的变形量分别为 、 ，则x方向的微位移为 ，y方向的微位 移为 ，