材料分析的方法第二部分.pptVIP

* * 材料分析方法  3 X射线能谱与波谱定量分析 3.1定量X射线显微分析： 历史：用特征X射线进行化学分析，可以追朔到1913年Moseley时代。那时。X射线光谱学产生了。在以后的二、三十年间发展成为一门实用科学。1958年，第一台电子探针在法国CAMECA诞生，1960年在英国剑桥，第一台能提供元素在样品中分布的成象分析仪器问世。 自1968年Duncumb首先在透射电镜上安装波谱分析仪以来，对微区结构和化学成分同时分析的方法获得迅速发展。随着扫描分析电子显微术、透射分析电子显微术和扫描透射电子显微技术的逐渐成熟，所分析区域越来越小。在达到0.5微米的空间分辨率广泛应用后，由于使用高加速电细电子束和薄样品，对区域为百埃甚至更小的超微区进行化学分析的技术也正在成熟。 特点： （1）综合分析能力强，可对同一微区进行成分和组织结构分析 （2）可分析镀层和薄膜的成分和厚度，尤其是多层复合膜 （3） 测定元素含量范围宽(波长和能量色散X射线荧光谱仪对元素的检测范围为10-5~100%, 误差为０.５％ （4）可直接对导电固体样品进行分析微区分析，对样品无损伤。 （5）谱仪具有自动化、智能化和专业化特点，长期使用稳定性高。 （6）分析速度快，准确度较高，但不如常规化学分析。 （7）设备价格昂贵, 无法分辨H、He、Li，对 C、N等轻元素分析