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江海军 ，陈力
南京诺威尔光电系统有限公司; 目录; 随着涂层及薄膜材料的广泛应用，工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求，比如要求在线、动态、非接触、实时进行测量等等，膜层厚度测试变得尤为重要，常见的膜厚测量分为接触式与非接触式，如表1所示。; 目录;图2-1：激光扫描红外热波成像技术示意图;2.1 激光扫描无缺陷区域温度场分析;;◆上述讨论中，所有参数没有一项与缺陷的属性有相关性，主要在于“镜像热源法”假定缺陷界面为绝热界面，??有热波在缺陷界面内发生全反射，没有考虑界面下缺陷的特性对热波传播的影响。
◆对于实际情况，热波在两种不同介质组成的材料传递过程中，在两种不同介质的界面处热波将会发生反射和透射现象；;;图2 温度“波线” 的行波;;从而，激光扫描样品表面温度场在点 的冷却速度数学表达式为：; 图2-7与图2-8所示为薄膜样品表面温度时间和空间理论曲线，激光扫描v=11cm/s，光斑半径3mm，激光功率200w，薄膜厚度50μm，图3中为空间距离为30cm处，样品表面温度时间曲线，图4为时间为3s处，样品表面温度空间曲线。; 目录;
显示器;;300 250 200 150 100 50;300 250 200 150 100 50;3.2 实验结果; 目录;总结;
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