节透射电子显微剖析.pptVIP

第三节 透射电子显微剖析;;;（2）成像放大系统 物镜 中间镜 投影镜 （3）图象观察记录部分 （4）样品台;;真空系统 电子显微镜镜筒必须具有高真空，这是因为： 若镜筒中存在气体，会产生气体电离与放电现象； 电子枪灯丝受氧化而烧断； 高速电子与气体分子碰撞而散射，降低成像衬度及污染样品。 电子显微镜真空度要求在10-4~10-6 Torr。 电气系统 主要有灯丝电源与高压电源，使电子枪产生稳定高照明电子束；各个磁透镜稳压稳流电源；电气控制电路。 ;2、透射电镜主要性能指标 （1）分辨率 是透射电镜最主要性能指标，它反应了电镜显示亚显微组织、结构细节能力。用两种指标表示： 点分辨率：表示电镜所能分辨两个点之间最小距离。 线分辨率：表示电镜所能分辨两条线之间最小距离。 （2） 放大倍数 是指电子图象对于所观察试样区线性放大率。 （3）加速电压 是指电子枪阳极相对于阴极电压，它决定了电子枪发射电子能量与波长。; 使用透射电镜观察材料组织、结构，需具备以下两个前提： 制备适合TEM观察试样，厚度100~200nm，甚至更薄； 建立阐明各种电子图象衬度理论。 对于材料研究用TEM试样大致有三种类型： 经悬浮分散超细粉末颗粒。 用一定方法减薄材料薄膜。 用复型方法将材料表面