集成电路版图基础电容.pptxVIP

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一、电容概述;电容充电;二、MOS集成电路中的电容器;1、基本电容版图;注意,集成电路中电容值的计算,应计算有效极板面积。即上、下极板之间重叠的面积;; ;N阱电容的优缺点 单位电容值大 电容值随上极板(多晶硅栅)上的电压改变而改变 N阱与P型衬底之间形成平行极板,产生寄生电容;由于扩散电容的结构与MOS管相似,可以将MOS管的栅源漏电极进行适当连接构成有源电容,起扩散电容的作用 MOS管的沟道面积即为电容面积; ;(3)叠层电容器 利用metal1或第二层多晶硅覆盖在第一层多晶硅之上形成第三层极板,增大电容值。 金属-多晶硅-扩散区电容 ;3、电容值误差——边缘电容;由于集成电路中电容器上下极板交错分布,面积不等,极板边缘效应更加明显 为了减小边缘电容的影响,版图设计中尽量不拆分电容;关于实验

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