显微分析技术电子显微镜 2.pptVIP

在 18900 倍下对 PVC 糊树脂 近行观测 应用实例 在 26000 倍下观测碳酸钙粉末 扫描电镜 S canning E lectron M icroanalyzer 扫 描 电 镜 (SEM) SEM 的 基 本 原 理 ★ 焦深大，图像富有立体感，特别适合于表面形 貌的研究 ★ 放大倍数范围广，从十几倍到 2 万倍，几乎覆盖 了光学显微镜和 TEM 的范围 ★ 制样简单，样品的电子损伤小 这些方面优于 TEM ，所以 SEM 成为高分子材料 常用的重要剖析手段 扫描电镜的最大特点 SEM 与 TEM 的主要区别 ★ 在原理上， SEM 不是用透射电子成像，而是 用二次电子加背景散射电子成像。 ★ 在仪器构造上，除了光源、真空系统相似外， 检测系统完全不同。 SEM 的分辨率主要受到电子束直径的限制， 这里电子束直径指的是聚焦后扫描在样品上的照 射点的尺寸。 对同样品距的二个颗粒，电子束直径越小， 越随得到好的分辨效果。但电子束直径越小，信 噪比越小 。 扫描电镜 (SEM) SEM 的分辨率主要受到电子束直径的限制，这 里电子束直径指的是聚焦后扫描在样品上的照射 点的尺寸。对同样品距的二个颗粒，电子束直径 越小，越随得到好的分辨效果，电子束直径越小， 信噪比越小 。 SEM 的放大倍数与屏幕分辨率有关， SEM 的最大放大倍数为 2 万左右。 扫描电镜 (SEM)