膜系设计、结构及调试.pptVIP

工艺部专题讲座 膜系设计、结构及调试 主要内容： 1. 膜系设计原理 2. 膜系结构 3. 调试过程 光学设计 宏观薄膜干涉理论 干涉的条件：同一光源发出、频率相同、振动方向相同、路径不同、相位差恒定 干涉的结果：相长和相消 利用干涉现象，通过调节膜厚来改变颜色或反射率的分析 （1）叠加原理 -90°~+90°之间发生相长干涉；90°~270°之间发生相消干涉 （2）界面反射光线的相位变化 当光线由光疏介质进入光密介质时，界面处的反射光线会有180°的相位变化 （3）进入光密介质被压缩 用于计算膜层1/4波长的光学厚度。 eg:550nm处得到一个1/4波长厚度的SiO2(n=1.45)膜层的计算： 真空1/4 波长： 550÷4=137.5 在 SiO2 中被压缩后的修正值： 137.5÷1.45=94.8 在550nm处得到1/4波长光学厚度，SiO2的膜层厚度应该约为95nm。 举例：设计一个SiO2膜，尽可能地削弱在55