扫描电镜、透射显微镜.pptVIP

电子显微镜 显微镜技术（ 二 ） 2  简 介  基本原理  透射电镜  扫描电镜  样品制备技术  电镜在高分子结构分析中的应用 3 中空聚合物微球的透射电子显微镜照片 a b TEM images of Ag nanoparticle coated silica microspheres (a) and silica microspheres with Ag nanoparticles embedded in the shell layer (SMAE SL) (b). The sample in Figure a was prepared with Ag(NH 3 ) 4+ soaked silica microspheres and reduced with glucose solution. The sample in Figure b was prepared as the sample in Figure a instead of forming a new layer of silica on the Ag nanoparticle coated silica microspheres and the silica microspheres used were smaller in diameter. Due to the detach of the Ag nanoparticles in the following procedure, the amount of the Ag nanoparticles embedded in the silica microspheres is less. SiO 2 /Ag( 透射电子显微镜 ) 5 ZnO （扫描电子显微镜照片） 6 • 肉眼所能观察到的最小限度是 0.2 mm 左右 • 光学显微镜分辨率是 0.2 um( 可见光的半波长 ) ， 最大放大为 1000 倍左右（光衍射的限制） 简 介 -3 0.225 nm 7 • 高性能电子显微镜，晶格分辨率是 0. 14 nm ，点分辨率是 0.3 nm ，相当于最大放大 倍数 50~100 万，直接观察一些结晶的晶格 图像，甚至某些单个原子 简 介 基本原理 电子束能量足够大，能够穿过样品而无相互作用，形成透 射电子。入射电子和样品有相互作用而产生散射。散射有两 类： • 弹性散射：入射电子只是被反射而没有损失能量 • 非弹性散射：如果有能量损失，会产生各种不同的射线 9 基本原理 基本原理 (1) 透射电子： 直接透射电子，以及弹性或非弹性散射的透射电子 用于透射电镜（ TEM ）的成像和衍射。 (2) 背景散射电子： 入射电子穿透到离核很近的地方被反 射 ， 而 没 有 能 量 损 失 ； 反 射 角的 大 小取 决 于离 核 的 距离 和 原 来 的 能 量 ， 因 而 实 际 上 任 何方 向 都有 散 射， 所 产 生的 信 息即形成背景散射。 散 射 强 度 的 大 小 取 决 于 原 子 的原 子 序数 和 试样 表 面 形貌 。 (3) 二次电子： 入射电子撞击样品表面原子的外层电子， 把 它 激 发 出 来 ， 就 形 成 低 能 量的 二 次电 子 ，使 表 面 凹凸 的 各个部分都能清晰成像 ( SEI ) 。 二 次 电 子 的 强 度 主 要 与 样 品 表面 形 貌有 关 。 二次电子和 背景散射电 子共同用于 扫描电镜 （ SEM ）的 成像。 10 11 (4 ） 特征 X 射线： 入射电子把样品表面原子的内层电子撞击，被激发的空 穴由高能级电子填充时，能量以电磁辐射的形式放出，就产生特征 X 射线，可用于 元素分析（ EDS or EDX ） 。 (5) 俄歇（ Auger) 电子： 入射电子把外层电子打进内层，原子被激发了， 为释放能量而电离出次外层电子，叫俄歇电子。主要用于轻元素和超 轻元素（除 H 和 He ）的分析，称为 俄歇电子能谱仪 。 (6 ） 阴极荧光： 入射电子使试样的原子内电子发生电离，高能级的电子 向低能级跃迁时发出的光波长较长（在可见光或紫外区），称为阴极 荧光，可用作 光谱分析 ，但它通常非常微弱。 基本原理 元素和光谱分析 一、透射电镜 （一）构造和成像原理 三部分组成： 光源、物镜和投影镜 电子束代替光束， 用磁透镜代替玻璃透镜 获得信息： （ 1 ）放大成像（明场像、 暗场像） （ 2 ）电子衍射图形 0 级 衍 射 13 一、透射电镜