薄膜光学基础教材课程.pptVIP

3.4.4 薄膜光学基础 所谓光学薄膜，是指在透明平整的基片或金属光滑表面上，用物理或化学的方法涂敷的单层或多层透明介质薄膜。 利用在薄膜上、下表面反射光干涉相长或相消的原理，使反射光得到增强或减弱，可制成光学元件增透膜或增反膜,满足不同光学系统对反射率和透射率的不同要求。 1 单层光学薄膜的反射 n3 n2 n1 d 设光波从第i层媒质射向第j层媒质时的反射系数和透射系数为： n3 n2 n1 d 当振幅为E0的单色平面波正入射时，各反射光的复振幅为： 其中： 是光波在薄膜内来回一次引入的相位延迟（不考虑半波损失）。 叠加之后总的复振幅： 总的反射系数： 令n1＝1，n3＝1.5作图。 0.04 或 的情形 (1) 此时没有半波损失，反射率总小于4％，这种薄膜有增透或减反作用。 当 或 时，反射率最高， 相当于没有镀膜。 当 时， 此时反射率最小，透过率最大： 当满足下面条件时，R＝0，消反射： 单层增透膜的缺点： 1.增透带宽窄。 2.材料限制。 或 的情形 (2) 此时有半波损失，反射率总大于4％，这种薄膜有增反作用。 当 或 时，反射率最低， 相当于没有镀膜。 当 时， 此时反射率最大，透过率最大： 此时膜层厚度： 对于单层增反膜，镀膜材料折射率越大越好。 2 双层膜 设计光学薄膜计算量很大，现在都是借助计算机软件设计。在实践设计中多采用光程先决法。 即先把膜层的光学厚度定为λ。/4，然后再确定材料。 g 1 2 3 介绍一种等效界面法。 先考虑由基底g和膜层3组成的单层膜系统。 由式(3-225)可得，此单层膜系统的反射系数： 由于是λ。/4膜系，所以： g 1 2 3 再考虑由膜层2和反射系数为 的等效膜层(3,g)组成的“单层膜”系统。 这样，此“单层膜”系统的反射系数： 最后得到双层膜系统的反射系数： 考虑到正入射的菲涅耳系数： 令r＝0，可得双层减反膜的材料折射率条件： 或 等效折射率 单层增反膜的反射率： 1 2 3 1 2 分界面的反射率： 等效折射率： 3 多层增反膜 常用的多层高反膜是由光学厚度nd都是λ0/4的高折射率膜层和低折射率膜层交替镀制的膜系，可表示为： GHLHL…HLHA＝G(HL)pHA p=1, 2, 3 … 其中，G和A分别代表玻璃基片和空气；H和L分别代表高折射率膜层和低折射率膜层；p表示一共有p组高低折射率交替层，总膜层数为(2p+1)。半波长的光学厚度应写成HH或LL。 λ0/4膜系的多层高反射膜示意图 GHLHL…HLHA＝G(HL)pHA 这种膜系之所以能获得高反射率，从多光束干涉原理看是容易理解的：根据平板多光束干涉的讨论，当膜层两侧介质的折射率大于(或小于)膜层的折射率时， 若膜层的诸反射光束中相继两光束的相位差等于π(λ0/4 膜系），则该波长的反射光获得最强烈的反射。而上图所示的膜系恰恰能使它包含的每一层膜都满足上述条件，所以入射光在每一膜层上都获得强烈的反射，经过若干层的反射之后， 入射光就几乎全部被反射回去。  这种膜系的优点是计算和制备工艺简单，镀制时容易采用极值法进行监控；缺点是层数多，R不能连续改变。目前发展了一种非λ0/4膜系，即每层膜的光学厚度不是λ0/4，具体厚度要由计算确定。其优点是只要较少的膜层就能达到所需要的反射率，缺点是计算和制备工艺较复杂。 由图，若在基片G上镀一层λ0/4的高折射率光学膜，其反射率为 式中 是镀第一层膜后的等效折射率。若在高折射率膜层上再镀一层低折射率膜层，其反射率为