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本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 机械泵（低真空泵） ? 目前主要为涡旋式真空泵 ? 一，立式油润滑涡旋真空泵 ? 二，水冷干式涡旋真空泵 ? 三，风冷干式涡旋真空泵 ? 四，带波纹管密封的干式涡旋真空泵 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 立式油润滑涡旋真空泵 ? 该泵的径向间隙具有易于密封和控 制的优点。与当时市场上广泛使用 的旋片真空泵相比，涡旋真空泵具 有更高的容积效率。 ? 同时此款式真空泵表明了涡流真空 泵的高效性，并对如何消除余隙容 积、控制间隙等提出了有效的方法 。 ? 但是由于没有冷却装置，导致该真 空泵的应用受到了很大的限制。同 时随着半导体行业的发展，此系统 无法满足清洁以及耐腐蚀的要求。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 水冷干式涡旋真空泵 ? 随着涡旋真空泵在半导体行业中应 用的不断扩大，人们开始致力于干 式涡旋真空泵的研究。于是人们研 究出泵腔内不含任何油类跟液体的 干式涡旋真空泵。 ? 其中采用水冷的方式解决泵内各部 件的润滑和冷却等问题的为水冷干 式涡旋真空泵。冷却水通过主轴内 的通