06气体及化学品供应系统.pdfVIP

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2020-05-16 发布于广东
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氣體及化學品供應系統氣體及化學品供應系統以客為尊的全方位科技服務領導者大綱大綱 • 氣體供應系統 • 化學品供應系統以客為尊的全方位科技服務領導者氣體供應系統氣體供應系統 • 氣體供應系統功能 – 在晶圓製造或液晶面板廠，使用各式各樣的氣體，其功能在於： • 氣動元件的驅動氣源 •吹淨 (Purge) • 參與製程反應 • 形成隔離層 • 雷射氣體 • …… 等 – 因應不同性質、種類的氣體，而有不同的供應及輸送方式。以客為尊的全方位科技服務領導者氣體供應系統氣體供應系統 • 氣體供應種類類別特性氣體種類類別特性氣體種類高壓、劇毒 PH , AsH , B H , NF A 3 3 2 6 3 高壓、可燃 SiH , SiH /He, Si H 4 4 2 6 B 高壓、氣態、腐蝕 HBr, Cl2, NH , HCl 3 C 低壓、液態、腐蝕、毒 BCl , SiH Cl , WF 特殊氣體 3 2 2 6 Specialty Gas D 氣態微毒 CF , CHF , C F , N O 4 3 2 6 2 E 惰性 Ar, He, He/O , Ar/H , SF , CF , CO , CH F 2 2 6 4 2 3 F 窒息性 N2, CO2 G 大宗氣體 N , H , O , Ar, He 2 2 2 以客為尊的全方位科技服務領導者氣體供應系統氣體供應系統 • 物質安全資料表 – Material Safety Data Sheet, MSDS – 描述氣體的 • 成份 • 危害性 • 安全處理方式 • 物理及化學性質 • 廢棄