《集成电路制造工艺与工程应用》第三章第四节热载流子注入效应与LDD工艺技术.pdf

1 载选自 《集成电路制造工艺与工程应用》第三章第四节热载流子注入效应与LDD 工艺技术 《集成电路制造工艺与工程应用》第三章第四节热载流子注入效应与LDD 工艺 技术 内容简述： 为了不断提高器件的性能和单位面积器件的密度，器件的尺寸不断按比例缩小。但 是这种按比例缩小并不是理想的，不是所有的参数都是等比例缩小的，例如器件的工作 电压不是等比例缩小的，器件的沟道横向电场强度会随着器件尺寸的不断缩小而增加， 特别是漏