激光衍射测量方法.docVIP

激光衍射测量技术 第一节激光衍射测量原理 第二节激光衍射测量方法 第三节激光衍射测量的应用 内容提示: 重点: 衍射及衍射现象在测量中的应用 学习方法: 衍射测量的思维与方法 第一节激光衍射测量原理 衍射/绕射:波能够绕过障碍物而弯曲 地向它后面传播的现象，称为波的 衍射现象 波: 声、光、电磁、机械波 障碍物：大小、形状对现象均有影响 现象：与波的波长、障碍物的大小、 光源/观察的位置有关 第一节激光衍射测量原理 光的波长短，对很小的缝隙/屏才有明显的衍射现 象，激光出现后， 衍射现象才实际应用到测量 中： 1973年 Canada 国家研究所 T.R. Pryer 提出了激光 衍射测量的方法 衍射测量的特点： 全场， 非接触，稳定性好，自动化程度高，精 度高 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 划分：按光源、障碍物/衍射物， 观察屏三者之间的距离或位置划 分菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 （1）菲涅耳衍射/近场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为有 限远 2 2 b b R or L l l （2）夫琅和费衍射/远场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为无 限远 2 2 b b R and L l l 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 夫琅和费衍射是我们衍射测量的基本原理 其常用的光路图如下： 二、单缝测量原理 1.单缝衍射现象 其观察屏的光强分布： e ikr % E c E K(q )dr = òò 有菲涅尔衍射原理有 p q r a 由基尔霍夫条件知： K(q ) = 1 + cos 2l i q 则光强分布： A e 1 + cos q ikr % E E dr = òò p q l i r 2 a sin b p b 2 I = I ( ) b = sin q 0 2 l b I q = 0 light strength 0 二、单缝测量原理 单缝衍射的特点： 1）中央明纹最亮、最宽，它的宽 度为其他各级明纹宽度的两倍 2）次级明纹的光强随级次的增加 而逐渐减小 3）若光程差不等于 λ/2 的整数 倍，亮度介于最明与最暗之间。 4）条纹的方向平行于缝的方向 5）暗条纹β=kπ 即 b = k l sin q 2.单缝测量的原理 当θ不大时则有: sin q X = if X L k k L + X 2 2 k sin q ? tgq = X k L 由暗条纹现的公式知: b = k l sin q b = kL l X k 2.单缝测量的原理 由此可以得出以下结论: a.测定L Xk的大小,就能计算狭缝宽度 b.测定b Xk的大小, 就能计算L的大小 b = kL l X k c. 如果Xk变化, L已知, 反映了狭缝的变 化,可实现在线测量 d. 由公式可知,暗条纹间距为固定值 所以通过测量条纹间距,也可以测量 X + - X = k 1 k 以上各值 L l b 3.单缝测量的能力 1)测量分辨力 b = kL l X k l 2 db kL b = - = - dX X kLl 2 k k 2 b t = kLl X = k kL b l 反映了测量最小分辨能力,级数越高 L越大, 波长越长, 分辨 力越高 反映了狭缝对尺寸的放大倍数, 即放大了1/t倍 Xk的测量分辨力,决定了狭缝的测量分辨力 3.单缝测量的能力 2)测量精度 b = kL l X k 由于一般激光频率稳定度可达10-6,可以忽略波长的影响 考虑环境因素的影响,一般测量的精度可达±0.5um 3)测量量程 ? b越小,β越大,衍射明显 kLl 1 dX = - = - db = - bdb k 2 b t ? b越小, XK变大,光强分布减弱,高级次条纹不明显 ? b越大, XK变小,条纹变密,传感器不易放置, 灵敏度下降 ? Lb2/λ,仪器尺寸限制, b基本确定 测量量程 一般d的宽度取0.01mm-0.5mm 三 、圆孔衍射测量 屏上接 J1为 一 X为 ： 爱里斑：第一个暗环所包括 的区域。 常用测试仪器的分辨率 三 、圆孔衍射测量 由一阶Bessel函数知，其零 点位置 分别为：3.83， 7.02， 10.17… 则Airy斑的大小有： p 2a 3.83 = sin j l Q sin j ? tg j = l f d = 1.22 a d 2f Airy集中了84%的能量以上 1、间隙测量法 间隙法主要运用单缝衍射原理，通 一暗条纹的距离， 通过公式， 测量的大小。 主要分： a. 尺寸比较 b. 形貌测量 c.传感器 可以测量应力/应变，温度，压力 度等 1、间隙测量法 测量出某一暗条纹的位置后,利用衍射公式,计算出 变化量的多少. 也可以通过计数某一位置(衍射角度固定), 衍射条 纹数的变化条数计算 ① 第一种,为绝对测量法