弘晨工艺培训教学幻灯片.pptVIP

PECVD R极小值条件： n12 =n0n2=(1—1.5)*3.42 n1=1.849 –2.265 h1=λ/4n1 PECVD Eg =1.1242 eV λmax =1103nm 取λ=600nm, n1=2.0 h1=75nm PECVD 4.3优良的钝化效果 丝网印刷与烧结 1.丝网印刷 背电极 背电场 正电极 丝网印刷与烧结 作用 电极---收集并传输电流 丝网印刷与烧结 背电场—作用 1.收集并传输电流 2.增加对光的吸收 丝网印刷与烧结 2.浆料 银浆—包括银粉，有机载体和无机相三部分 银粉——导电性颗粒物质 有机载体——将乙基纤维溶于有机溶剂而得到的一种粘性液体 ① 适当的粘性——保证浆料有适合丝网印刷的流动性 ② 良好的触变形——保证浆料在印刷后能够保持好的形态 ③ 良好的润湿性——保证银粉在有机载体中均匀分布，不产生团聚 ④ 良好的挥发性——减少在热处理过程中形成气孔和减少烧结过程中形成 丝网印刷与烧结 无机相——无机相与硅片和银粉的作用示意图 ①银浆与硅片