非球面镜片的精密加工;光学镜片的加工及检测.doc

光学加工与检测技术 主讲：朱健强 研究员 中国科学院 上海光学精密机械研究所 二零零六年九月 目 录 I. 光学冷加工工艺通用工艺 II. 非球面加工与检验 III. 特种光学元件加工技术（强激光光学元件 与环抛技术） IV.光学加工机械 V. 光学加工车间检验和终检 VI.光学加工新技术概述 Ⅰ光学冷加工工艺通用工艺 一、对光学技术人员的要求 二、光学冷加工工艺 三、加工辅料 一、对光学技术人员的要求 1. 操作要求： ? 会操作各类光学加工机床和设备， ? 熟悉光学加工工艺，能加工出满足特定要求的光学零 件(精确的直径、曲率半径、厚度、角度和平行度)； ? 会使用各种检测仪器（自准直仪、光具座及其附件、 干涉仪、罗契检验及刀口检验仪等）来保证精度； ? 维护设备及工作场地，作工作笔录及进度，并养成安 全操作习惯； 一、对光学技术人员的要求 2. 理论要求 ? 折射和衍射原理； ? 玻璃的特性； ? 玻璃或其他光学材料从粗加工零件到完工成品的加工 过程； ? 初等数学； ? 读懂各阶段生产工艺图的技术规格、公差； ? 光学检验理论 二、光学冷加工工艺 1. 开料成形 2. 粗磨 3. 上盘 4. 细磨 5. 抛光 6. 定心磨边 2.1 开料成形——材料切割 ? 切割厚的工件 ? 圆片的切割 （内圆切割和外圆切割） 2.1 开料成形——材料切割 ? 棱镜和分束器的切割 2.1 开料成形——材料切割 ? 金刚石切割机 fecker 80BQ 金刚石切割机 2.1 开料成形——材料切割 ? 线切割 2.1 开料成形——钻孔 ? 钻孔 在玻璃元件上钻、铣出圆形或其他形状的通孔和半通 孔。 航天光学元件的轻量化 2.1 开料成形——磨外圆 ? 磨外圆 2.2 粗 磨 ? 粗磨平面 ? 粗磨棱镜和斜面 ? 粗磨球磨 2.2粗磨——平面 散粒磨料多片加工 散粒磨料单片加工 2.2粗磨——平面 双面加工 2.2粗磨——平面 LOH公司SPM平面铣磨机 2.2粗磨——棱镜和斜面 铣磨棱镜和斜面的准直夹具 制造精密的反射角及 小平面棱镜需要这种夹具 2.2粗磨 棱镜和斜面 —— LOH公司PR－150－SL型棱镜粗磨机 2.2粗磨——球面 ? 单件手工粗磨球磨 中心点 留边 2.2粗磨——球面 磨球面工艺技术参数 球面矢高量 1 0.5 0.1 磨料粒度 150＃～180＃ 240＃～280＃ Ｗ40～Ｗ28 单面磨削量 0.3～0.4 0.1～0.2 0.05～0.1 凸面中心点直径 2～3 1～2 0 凹面边宽 1～1.5 0.3～0.5 0 2.2粗磨——球面 ? 沟槽模加工 直径小于8mm、半径小于6mm、 矢高大于0.5R的球面，可采用 沟槽模加工。整个平模上可同时开多条槽。槽深等于或小于曲率半 径R。研磨时，粘棍顺着槽倾斜60°～70°左右，同时围绕自身轴 线转动。 铝棍 胶层 Ｒ 工件 沟槽模 2.2粗磨——球面 ? 整盘粗磨球面 对直径小而曲率半径大的球面，可以 用弹性胶粘结平面毛坯然后整盘祖磨。 磨凸面 凹贴置模半径： 凸粘模 R t = R2 + (φ / 2)2 凹粘模 凸粘结模半径： R R z = ? z = ? d R－粗磨曲率半径 Φ－工件直径 d－工件中心厚度 2.2粗磨——球面 磨凹面 凹粘结膜半径 凹粘模 R z = (R + d 2 + (φ / 2)2 )= (R + d 2 + (φ / 2)2 2.2粗磨——棱镜和斜面 ? 铣磨球磨原理 球面半径R和砂轮倾斜角α的关系： sin α = D 2(R ± r) α－砂轮倾斜角 D－砂轮中径 r－砂轮刃口圆弧半径 凸面取“＋”， 凹面取“一” R－工件曲率半径 2.2粗磨——球面 用小磨轮铣磨大球面 分步铣磨方法 ? θ 1角为第一倾角 ? θ 2为第二倾角 ? R为曲率半径， ? r为毛坯的半直径 ? d为磨轮直径 ? a为l1与l2间的距离 2.2粗磨——球面 LOH公司的GII－4球面粗磨精磨机 2.2粗磨——球面 粗磨凸面镜 粗磨凹面镜 自动换磨头 2.2 粗磨——球面 铣磨机可以完成的各种工作 2.3 上 盘 ? 平行平面上盘 ? 松香蜂蜡胶上盘法 优点是操作简便，缺点是平行度精度不高，也不适用于面形精度 要求较高的薄片。 荷重 工件 工件 粘结模 粘结模 方法一 方法二 2.3 上 盘 ? 点胶上盘法 优点是可获得较好的面形和平行度。缺点是承受不了高速高压 的加工条件，易“走动” 。 工件 工件 火漆点 软胶点 粘结模 粘结模 软点胶粘结 硬点胶（火漆）粘结 2.3上 盘 ? 浮胶上盘法 工件 优点是工件和粘结平板都不 粘结胶 需加温，工件可达到较高的平行 度和面形精度，缺点是承受不了 高速高压的加工条件。 玻璃垫板 ? 光