第六章压电传感器资料讲解.pptVIP

本章学习压电传感器的工作原理、测量转换电路、应用及（动态测量）振动频谱分析。 ;第一节 压电传感器的工作原理;一、压电效应;压电效应归纳;Date;二、压电材料的分类及特性 ; 压电材料的主要特性参数有： （1）压电常数压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出的灵敏度。 （2）弹性常数压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 （3）介电常数对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 ; （4）机械耦合系数在压电效应中，其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根；它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 （6）居里点压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。;常用压电材料的性能参数。; 一、石英晶体 石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构。图6-2（a）表示了天然结构的石英晶体外形。它是一个正六面体，石英晶体各个方向的特性是不同的。 其中：纵向轴z称为光轴；经过六面体棱线并垂直于光轴的x轴称为电轴；与x和z轴同时垂直，垂直的六面体棱面的轴y称为机械轴。 通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”；而把沿机械轴y方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”；而沿光轴z方向受力时不产生压电效应。;Date; 若从晶体上沿y方向切下一块如图6-2（c）所示晶片。 当在电轴方向施加作用力时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷，其大小为： qx = d11 Fx (6 - 1) 式中：d11——x方向受力的压电系数； Fx ——作用力。 ; 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为： qy=(d12 Fy) （6 - 2） 式中：d12——y轴方向受力的压电系数， d12=-d11； a、b —晶体切片长度和厚度。 电荷qx和qy 的符号由所受力的性质决定。; 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关，图6-3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的x-y平面上的投影，等效为一个正六边形排列。图中“＋”代表Si4+离子， “－”代表氧离子O2-。 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。如图6 - 3（a）所示。; 因为P=qL，q为电荷量，L为正负电荷之间距离。晶体不受外力作用时，正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3 = 0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。 晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图6-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零，即（P1+P2+P3）0。在x轴的正方向出现正电荷，电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。 ; 晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图6-3（c）所示，与图6-3（b）情况相似，P1增大, P2、P3 减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为负电荷。在y轴方向上不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。 当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。 ;（一）石英晶体;天然形成的石英晶体外形;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器（晶振）;（二）压电陶瓷;极化处理过程 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。在无外电场作用时，畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。如图6-4（a）所示。;Date; 在陶瓷上