第一章 薄膜及其特性资料讲解.pptVIP

第一章 薄膜及其特性;1.1 薄膜的概念;;;1 薄膜的几种定义;定义1的特点：;上平面：空气;三、定义3：;●薄膜(thin film)：由物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、溶液镀膜法等薄膜技术制备的薄层。;涂层;Silicon-On-Sapphire Wafers ;Substrate for III-V Nitride Epitaxy.;;;;;（2）薄膜材料科学与技术的研究内容;1.2 薄膜材料的分类;1.2 薄膜材料的分类 ;;;;;;;;1.3 薄膜材料的特殊性;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;在常温时，Ni的晶体为面心立方（fcc）结构，在非常低的气压下对其进行溅射时，制取的薄膜都是密排六方（hcp）结构。同样，和Ta具有体心立方（bcc）结构相对应，当溅射时若N2等杂质多就会形成正方晶系的?-Ta。和bcc结构Ta相比， ?-Ta的电阻率高，电阻温度系数却非常低。BN晶体是六方结构，但低温时形成的BN却是立方结构，称为立方氮化硼（c-BN）。c-BN是非常硬的物质，仅次于金刚石。 ;;（5）量子尺寸效应和界面隧道穿透效应 量子尺寸效应--是指当粒子尺寸下降到某一数值时，费米能级附近的电子能级由准连续变为离散能级或者能隙变宽的现象。 当能级的变化程度大于热能、光能、电磁能的变化时，导致了纳米微粒磁、光、声、热、电及超导特性与常规材料有显著的不同。;;;;超晶格膜，是将两种以上不同晶态物质薄膜按ABAB……排列相互重在一起，人为地制成周期性结构后，会显示出一些不寻常的物理性质。如势阱层的宽度减小到和载流子的德布罗依波长相当时，能带中的电子能级将被量子化，会使光学带隙变宽，这种一维超薄层周期结构就称为超晶格结构。当和不同组分或不同掺杂层的非晶态材料（如非晶半导体）也能组成这样的结构，并具有类似的量子化特性，如a-Si:H/a-Si1-xNx?:H， a-Si?:H/a-Si1-xCx?:?H……。应用薄膜制备的方法，很容易获得各种多层膜和超晶格。 ;1.4薄膜的结构特征与缺陷(自学);;(2)多晶结构 多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不同的晶粒随机取向组成的。在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征。由众多小岛（晶粒）聚集形成的薄膜就是多晶薄膜。 多晶薄膜存在晶粒间界。薄膜材料的晶界面积远大于块状材料，晶界的增多是薄膜材料电阻率比块状材料电阻率大的原因之??。 (3)纤维结构 纤维结构薄膜是指具有择优取向的薄膜。在非晶态基体上，大多数多晶薄膜都倾向于显示出择优取向。由于（111）面在面心立方结构中具有最低的表面自由能，在非晶态基体（如玻璃）上纤维结构的多晶薄膜显示的择优取向是（111）。吸附原子在基体表面上有较高的扩散速率，晶粒的择优取向可发生的薄膜形成的初期。 ;;（二） 薄膜的晶体结构 在大多数情况下，薄膜中晶粒的晶格结构与其相同材料的块状晶体是相同的。但薄膜中晶粒的晶格常数常常和块状晶体不同，产生原因：一是薄膜与基体晶格常数不匹配；二是薄膜中有较大的内应力和表面张力。 （三） 表面结构 薄膜表面都有一定的粗糙度，对光学性能较大影响，由于薄膜的表面结构和构成薄膜整体的微型体密切相关，在基体温度和直空度较低时，容易出现多孔结构，所有真空蒸发薄膜者呈现柱状体结构，溅射薄膜的柱状结构是由一个方向来的溅射粒子流在吸附原子表面扩散速率很小的情况下凝聚形成的。 ;;;;;