Ch02MEMS器件-执行器 (2)教学教案.ppt

MEMS技术;MEMS传感器;第二章 微系统工作原理;微执行器的概念;自1982年静电微马达的研制成功至今，对微执行器的研究工作正在深入。 设计执行器的要求是在动力源的驱动下能够完成需要的动作。 在涉及到运动的微型系统中执行器十分重要。;微机械执行器是组成微机电系统的要素之一。如，力学执行器是将电能或其它能量转换为机械能。 理想的执行器应该是使用很少的能源，具有很高的机械效率，对机械状态和环境条件适应性强，需要时能产生高速运动，在控制信号与力、扭矩和速度之间呈线性比例关系。 ; 与传统执动器相比，微执动器的特点有 微系统加速快、速度高； 仅需极小的驱动力； 随元器件尺寸的微型化、热膨胀、振动等环境干扰因素小。;微执行器的一些应用;微电机;麻省理工大学(MIT)气体涡轮实验室正在研制的微型涡轮发动机的涡轮叶片只有衬衫的纽扣大小,直径为4mm，他们还制造了2mm长的微型燃烧室, 材料都是硅,制造工艺与IC工艺相似 制造质量仅为1g 输出功率达到10～20W。;微燃烧器实验室研制的由硬质钢铝合金制成的小型Wankel发动机, 尺寸是：半径5.5mm，深3.6mm，体积77.5mm3 使用气体燃料如氢、甲烷、丙烷； 用电动机驱动发动机;2005年M.I.T.所开发的微型发电机具有最大的输出功率1.1W，足以为一部手机或者全球定位系统装置提供动力;微型泵;MEMS光开关;2D微镜反射型光开