制绒异常工艺排除指南教学案例.pptxVIP

制绒异常减薄量异常单晶制绒后局部发白单晶制绒后脏污单晶制绒后手指印单晶制绒后“花篮印”与“水纹印”单晶制绒后“雨点”与制绒时硅片漂浮单晶制绒后表面白斑减薄量异常异常描述原因分析解决方案减薄量偏大1、减薄量称量错误：通常表现为三片减薄量正常，剩下一片明显偏大,可能为员工在转篮过程中将预先称量的硅片弄混。常出现在交接班在制品中确认绒面后可以流入扩散工序2、初始配液浓度过大，可能员工为减少制绒时间提升产能而人为的在初始配液时将配液量超过SOP规定范围。减少制绒时间3、制绒槽温度偏高加大冷却水流量，减少制绒时间4、制绒时间过长减少制绒时间减薄量偏小1、减薄量称量错误：通常表现为三片减薄量正常，剩下一片明显偏小,可能为员工在转篮过程中将预先称量的硅片弄混。常出现在交接班在制品中确认绒面后可以流入扩散工序2、制绒槽温度偏低。如多晶制绒初始配液后由于制绒槽自身没有加热装置，需要靠自身反应放热升温。1、单晶制绒时请设备人员维修，待温度正常后继续生产2、多晶制绒时则需要减少冷却水流量，继续生产，靠自身反应升温3、制绒时间过短增加制绒时间4、制绒溶液使用后期溶液失效更换制绒溶液单晶制绒后局部发白图示：原因分析解决方案1、NaOH与IPA比例失调：NaOH含量偏低，不能充分进行反应1、补加NaOH或者延长制绒时间2、不良品重新制绒，如果发白区域可以消除，则可以确认为NaOH浓度问题导致2、如果减薄量小于控制范围，则为制绒时间不足导致延长制绒时间3、硅片自身性质决定：通常德国与日本硅片会出现这种难以腐蚀的情况，如million sea加大初始配液量4、制绒初期制绒溶液未处于最佳工作状态继续生产，约五篮后会正常5、制绒添加剂或NaOH异常确认添加剂/NaOH批号，如果确认为添加剂/NaOH问题，则立即换液，使用另一批号添加剂/NaOH，问题化学试剂待白班工程师确认6、制绒溶液不均匀开启循环泵，对制绒液进行搅拌发白处绒面：很小，类似原始硅片单晶制绒后手指印图示原因分析解决方案1、如果是大量手指印，可能为硅片出厂前人为导致不良片过烧结炉后重新制绒，如制绒后依旧无法将手指印去除，则流入扩散工序，尽量挑选干净的一面作为扩散面（制绒次数过多会导致硅片过薄，后道加工过程中导致碎片）2、IQC在抽测过程中用手触摸硅片导致，如监测电阻率、少子寿命时。通常出现在某批次硅片结批前，几百至上千片的IQC检测片投料后会出现。3、少量和个别手指印通常为制程过程中人为接触导致单晶制绒后“花篮印”和水纹印原因分析解决方案1、花篮印：制绒溶液使用后期溶液硅酸钠浓度偏高，溶液流动性差，硅片两侧由于被小花篮缝隙遮挡导致制绒不充分。1、及时换液，如果情况严重则提前换液。2、不良片重新制绒2、水纹印：制绒溶液使用后期溶液硅酸钠浓度偏高，大花篮在提篮过程中残留在硅片表面的制绒溶液附着于硅片表面，在缓慢流下来的过程中继续与硅片反应，生成水纹印。注：在使用新型S929-B添加剂后水纹印现象已经基本消失花篮印水纹印单晶制绒后“雨点”与制绒时硅片漂浮原因分析解决方案1、“雨点”：制绒过程中IPA的主要作用除了缓和溶液对硅片的腐蚀外，一个重要的作用就是通过改善硅片表面活化能来促进附着于硅片表面的氢气气泡的释放。如果反应温度过高，IPA可能会大量挥发，造成小气泡无法充分释放，附着于硅片表面的小气泡会阻止反应溶液对硅片的腐蚀，造成类似于“雨点”的发白区域1、补加IPA2、轻微“雨点”片在镀膜时可以被遮挡，但严重不良片必须重新制绒2、硅片漂浮：附着于硅片表面的小气泡无法及时释放，小气泡将硅片漂浮。注：目前这种情况已经很少见单晶制绒后表面白斑图示原因分析解决方案1、制绒槽PM维护不达标：制绒槽内的杂质附着于硅片表面换液，对制绒槽进行彻底维护2、IPA异常：可能为某批次IPA质量不合格；或者是不同批次甚至厂家IPA混用换液，使用其他批次IPA进行配液和补液