Q_341002BLT03-2020Mirco LED用纳米级图形化蓝宝石衬底.pdf

Q/PSS 黄山博蓝特半导体科技有限公司企业标准 Q/341002BLT 03-2020 Mini LED用复合型图形化蓝宝石衬底 Composite Patterned Sapphire Substrate for Mini LED 2020-01-10 发布 2020-01-10 实施 黄山博蓝特半导体科技有限公司 发布 Q/341002BLT 03-2020 前言 本标准是根据市场及本公司的需求编制，主要指标根据客户常规需求而制定。客 户有特殊需求时在合同中另作规定。 本标准由黄山博蓝特半导体科技有限公司提出。 本标准起草单位：黄山博蓝特半导体科技有限公司。 本标准主要起草人：徐良、刘建哲、陈素春、张磊、彭艳亮、吴斌 2 Q/341002BLT 03-2020 Mini LED用复合型图形化蓝宝石衬底 1、范围 本标准规定了图形化蓝宝石衬底的术语、产品型号命名规则、技术要求、检验方法和检验规则以及包装、 标志、运输、储存。 本标准适用于本公司生产的Mini LED用复合型图形化蓝宝石衬底 （以下简称CPSS）产品质量验证。 2、规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后 所有的修改单 （不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协 议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本 标准。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 14264－2009 半导体材料术语 GB/T 14844－2018 半导体材料牌号表示方法 GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶抛光衬底片 GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 2828.1－2012 计数抽样检验程序 GB/T 50591-2018 洁净室施工及验收规范本标准 3、术语、定义和符号 按照 GB/T 14264－2009、GB/T 14844－2018、GB/T 6624-2009 等规定进行定义。 3.1 蓝宝石图形化衬底片 在抛光单晶蓝宝石衬底片上、通过半导体工艺所加工出的具有周期性阵列排布的细微图形结构的衬 底片。 3.2 图形高度 以蓝宝石衬底平面为基准面，单个图形结构沿基准面法向的高度。 3.3 图形底宽 在与蓝宝石衬底平行的平面上，图形结构底部区域的最大宽度。 3.4 图形间距 在图形底部区域的平面上，相邻两个图形结构的边沿之间的最短距离。 3.5 边缘排除区域 晶圆的固定区域与晶圆周边的距离。 3.6 脏污 在晶片表面出现的外来物质。 3.7 图形缺失 图形化蓝宝石衬底片上，周期性阵列排布的图形在局部区域出现无图形或图形被破坏的区域。 3 Q/341002BLT 03-2020 3.8 划痕 用机械方法切割出现与主要的表面纹理图案不相关的的细长的标记或凹槽。 3.9 图形异常 图案尺寸和形状偏离正常值。 3.10 异常面积 图案尺寸和形状偏离正常值区域平面图形的大小。 3.11 图形均匀性 在同一图形化蓝宝石衬底片内或者不同衬底片之间，图形结构尺寸的离散程度。 3.12 符号 本标准采用的符号由表-1给出。 符号 含义