Q_DXSJJ 0014-20186英寸导电碳化硅单晶片应力检验方法.pdf

ICS 29.045 H 80/84 Q/DX 北京世纪金光半导体有限公司企业标准 JG Q/DXSJJ 0014—2018 6英寸导电碳化硅单晶片 应力检验方法 2018－10－09 发布 2018－11－20 实施 北京世纪金光半导体有限公司 批准 Q/DXSJJ 0014-2018 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。 本标准起草单位：北京世纪金光半导体有限公司。 本标准主要起草人：杨丽雯，靳丽婕，何丽娟。 I Q/DXSJJ 0014-2018 6 英寸导电碳化硅单晶片应力检验方法 1 范围 本标准规定了6英寸导电碳化硅单晶片内应力，有关定义和测试方法。本方法中应力测 试适用于经过双面抛光的碳化硅单晶片整片应力表征。本方法为无损测试的方法，可快速的 定性判断整片碳化硅单晶片的应力分布。 2 术语和定义 2.1 起偏振片 一种光学装置，自然光通过它以后，变成有一定震动方向的平面偏振光，该偏振片通常 被放置于光源与被测试样品之间。 2.2 检偏振片 一种光学装置，自然光通过它以后，变成由一定震动方向的平面偏振光，该偏振片通常 被放置于观测者与被测试样品之间，通常称为分析镜。 3 原理 自然光透过呈消光状态的起偏器和检偏器时，视场中为黑色暗场，当经过偏振片的自然 光透过应力集中区的晶体材料时，原晶体材料由于各向异性导致折射指数发生变化，自然光 变为双折射光，经过检偏器到达观测点时，观测区域内呈现大量亮斑。 4 测试仪器 应力仪由以下部件组成：光强可调的光源、偏光起偏器、碳化硅单晶片样本、检偏器、 晶片吸笔、相机构成，该结构如图1所示：本规范应力斑测试是高倍数数码相机拍摄，人工 识别应力斑类别。 图1 应力检测光路示意图 1 Q/DXSJJ 0014-2018 5 测试环境 除另有规定外，应在下列条件下进行： a) 环境温度：15℃-35℃； b) 相对湿度：20%-80%。 6 测试程序 6.1 测试位置 测量区域为整个单晶片面积。 6.2 测试区面积 本测试为全片拍摄表征，需根据拍摄效果图测试统计整片的应力斑，拍摄样品整片需如 图2，将拍摄完成的整片应力斑分布照片，根据图1中的观察的各类应力斑纹形貌特征，统计 应力斑长度，该观察点为晶片整面，无需去除边缘区域。 图2 碳化硅整片示意图 6.3 测量系统的准备 正式测量前，应详细检查测试系统各部分的运行，确保其处于良好的状态，确定无试样 的前提下，系统产生的偏振光可以穿透整个晶片，在相机上面实现整片的准确拍摄。 7 测试步骤 a) 按照图1光路示意图依次摆放LED光源，起偏器，样本，检偏器，相机； b) 调整起偏器和检偏器，使视场呈暗视场； c) 放置晶片，按照测试主副边指定位置放置； d) 根据应力斑分布观察拍摄效果，调整LED光源亮度； e) 根据拍摄效果调整相机相对碳