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我国激光器产业研究 （一）行业概况 1 、激光器工作原理 激光是二十世纪继核能、 半导体、计算机后又一重大发明， 并凭借其良好的单色性、 方向性、亮度等特质被广泛应用于工业制造、生物医疗、军事等领域，被誉为“最快的 刀”、“最准的尺”、“最亮的光”。 激光器是激光的发生装置，主要由泵浦源、增益介质、谐振腔等组成。泵浦源为激 光器的激发源，谐振腔为泵浦光源与增益介质之间的回路，增益介质指可将光放大的工 作物质。在工作状态下增益介质通过吸收泵浦源提供的能量，经谐振腔振荡选模输出激 光。 ①泵浦源：为实现和维持增益介质产生粒子数反转提供能量的装置。 ②增益介质：激光器的核心，是指用来实现粒子数反转并产生光的受激辐射放大作 用的物质，主要可分为固态（含固体、光纤和半导体） 、气体、液体等。 ③谐振腔：控制光束的传播方向，提高激光单色性和相干性，缩短工作物质长度， 调节产生激光的模式，选择共振腔轴线方向的光，借助两端的具有选择性反射功能的反 光镜形成往返运动，实现“光放大” 。 第 1 页 共 34 页 2 、激光器分类与调制技术 （1）激光器分类 激光器可以按照增益介质、输出波长、运转方式、泵浦方式进行分类，具体情况如 下： ①按增益介质分类 第 2 页 共 34 页 按照增益介质的不同， 激光器可分为固体 （含全固态、光纤、混合、半导体）、气体、 液体激光器等。公司产品目前涉及全固态（ DPSS ）、MOPA 光纤（偏振）及固体 - 光纤 混合模式等主流激光器。 目前发现可做增益介质的物质有近千种，常见的有掺钕钇铝石榴石（又称 YAG ）、 红宝石、钕玻璃、光纤、二氧化碳等。每类增益介质激光器具有自身的比较优势，应用 领域有所侧重，相互间完全替代可能性较小。 ②按输出波长分类 激光器按照波长可分为红外光激光器、可见光激光器、紫外激光器、深紫外激光器 等。不同结构的物质可吸收的光波长范围不同，因此需要各波长的激光器应用于不同材 料的精细加工。红外激光器与紫外激光器是运用最广泛的两种激光器：红外激光器主要 应用于“热加工” ，将材料表面的物质加热并使其汽化 (蒸发 ) ，以除去材料；在薄膜非金 属材料加工，半导体晶圆切割，有机玻璃切割、钻孔、打标等领域，高能量的紫外光子 直接破坏非金属材料表面的分子键，使分子脱离物体，这种方式不会产生高热量反应， 因此通常被称为“冷加工” ，紫外激光机在微加工领域具有不可替代的优势。 由于紫外光子能量大，难以通过外激励源激励产生一定高功率的连续紫外激光，故 连续紫外激光一般是应用晶体材料非线性效应变频方法产生，因此目前广泛应用工业领 域的紫外激光器主要是固体紫外激光器。 ③按运转方式分类 激光运转方式是激光器的技术核心，主要可以分为连续激光器和脉冲激光器。 第 3 页 共 34 页 连续激光器中各能级的粒子数及腔内辐射场均具有稳定分布，其工作特点是工作物 质的激励和相应的激光输出可以在一段较长的时间范围内以连续方式持续进行。连续激 光器可以在较长一段时间内连续输出激光，但热效应较明显。 脉冲激光器以不连续方式输出激光，主要特点是热效应小，可控性好。 脉冲激光器的脉冲宽度指激光功率维持在一定值时所持续的时间。目前常用的工业 微加工激光器可分为纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器等。脉冲宽度越窄，对激光 调制技术的应用要求就越高。 A 、纳秒（ 10 -9 s）激光器：纳秒激光器的脉冲持续时间一般介于几十到几百纳秒的 范围内。目前市场上纳秒脉冲激光器技术较为成熟，供选产品丰富，在向大功率和短波 长的发展过程中光纤激光器和固体激光器各具优势。 B、超快激光器：超快激光器是指激光脉冲持续时间更短的激光器。