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聚乙烯球晶的表面复型像 熔体 —— 高压 —— 厚度微米级 5.2 多组分多相高分子体系 嵌段共聚物 高分子乳液颗粒形态 碳纳米管接枝改性 Part 2 扫描电子显微镜 1. 扫描电镜结构原理 2. 扫描电镜图象及衬度 3. 扫描电镜的主要特点 4. 扫描电镜结果分析示例 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜,英 文 缩 写 为 SEM (Scanning Electron Microscope) 。 用细聚焦的电子束轰击样品表 面,通过电子与样品相互作用产生的二次电 子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进 行观察和分析 。 可与能谱( EDS )组合进行成分分析, SEM 也是 显微结构分析 的主要仪器,已广泛 用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 1. 扫描电镜的工作原理 主要包括电子光学 系统、扫描系统、 信号检测放大系统、 图象显示和记录系 统、电源和真空系 统等。 样 品 入射电子 Auger 电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X 射线 透射电子 2. 扫描电镜图象及衬度 ? 二次电子像 ? 背散射电子像 第七章 电子显微分析 样 品 入射电子 Auger 电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X 射线 透射电子 1. 透射电镜的构造 2. 透射电镜的主要性能指标 3. 透射电镜的衬度形成原理 4. 透射电镜研究用高分子样品制备方法 3. 透射电镜在高分子研究中的应用 Part 1 透射电子显微镜 以波长极短的电子束 作为照明源,用电子透镜 聚焦成像的一种具有高分 辨本领、高放大倍数的电 子光学仪器。 主要包括电子光学系 统、真空系统和电源系统 三部分。 1. 透射电镜的构造 电子光学系统(又称为镜 筒) —— 基础部分 照明系统: 电子枪、聚光镜 — — 得到具有确定能量的高亮度 的聚焦电子束 成像系统: 样品室、物镜、中 间镜和投影镜 —— 安置样品, 放大成像 图像观察和记录系统: 荧光屏 和照相装置 电子枪 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 照相底板 样品室 位于照明系统和物镜之间,其作用是安装各种形式的 样品台,提供样品在观察过程中的各种运动,如平移 ( 选 择观察区域 ) 、倾斜 ( 选择合适的样品位向 ) 和旋转等。 透射电镜样品非常薄,约为 100 ~ 200nm ,必须用铜 网支撑着。常用的铜网直径为 3mm 左右,孔径约有数十 μm ,如图所示。 物镜: 透射电镜的核心 ,形成一次放大象和衍 射谱,物镜的分辨本领决定透射电镜的分辨本 领;要求:物镜有尽可能高的分辨本领、足够 高的放大倍数和尽量小的像差。磁透镜最大放 大倍数为 200 倍,最大分辨本领为 0.1nm 。 中间镜: 把物镜形成的一次中间像或衍射谱投 射到投影镜物面上。 投影镜: 把中间镜形成的二次像及衍射谱放大 到荧光屏上,形成最终放大电子像及衍射谱。 三级成像的总放大倍数为: M T = M O M I M P 其中 M O 、 M I 、 M P 分别是物镜、中间镜和投影的放大 倍数。 磁透镜可以通过改变电流来调节放大倍数。一般 通过将物镜和投影镜的放大倍数 M O 、 M P 固定,而改 变中间镜放大倍数 M I 来改变总放大倍数 M T 。 放大倍数越大,成像亮度越低。成像亮度与 M T 2 成反比。因此,要根据具体要求选用成像系统的放大 倍数。 图像观察和记录系统 透射电镜中电子所带的信息转换成人眼能感觉的可见光 图像,是通过荧光屏或照相底板来实现的。人们透过铅 玻璃窗可看到荧光屏上的像。 两种工作模式 TEM 既能得到衍射谱又能 观察像的原因 ? 晶体试样,电子透过晶 体时会发生衍射现象, 在物镜后焦面上形成衍 射谱。 ? 在 TEM 中,改变中间镜 的电流,使中间镜的物 平面从一次像平面移向 物镜的后焦面,可得到 衍射谱,反之,让中间 镜的物面从后焦面向下 移到一次像平面,就可 看到像。 电源系统包括电子枪高压电源、透镜电源和 控制线路电源等。 真空系统用来维持镜筒 ( 凡是电子运行的空间 ) 的真空度在

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