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分子增压泵连续镀膜设备 储继国1， 龚建华2 1. 深圳大学物理科学与技术学院，2. 深圳市摩尔真空技术有限公司 （广东省产学研基金、深圳市产学研基金资助项目） 一、背景 传统连续镀膜设备采用扩散泵+罗茨泵抽气，能耗大，油蒸汽污染严重。近年来，开始采用分子泵+罗茨泵抽气，镀膜阶段油蒸汽污染基本消除，能耗有所降低。然而，还存在如下问题： ■ 进片室仍采用罗茨泵，粗抽压强依旧为几Pa。在此压强下，不到1秒钟，工件表面就会形成几个分子厚的油膜，影响镀膜产品的结合力和其它质量指标。对于待镀工件不能高温烘烤的场合，该油蒸汽污染造成的危害更大。 ■ 进片系统节拍慢，跟不上镀膜节拍，影响生产效率。 ■ 磁控放电压强（0.5Pa）下，分子泵的有效抽速不到标称值的50%，浪费抽气资源。 ■ 分子泵泵口通常只能向上安装，需増加直角连接弯头，抽速损失达20%。 ■ 分子泵的前级泵能耗高，抽气总能耗仍然很高。 ■ 受大流量气体冲击，分子泵易发生打片损坏。 二、分子增压泵—连续镀膜设备的最佳选择 最近，深圳大学的原创性成果分子增压泵实现了产业化。该泵具有如下优异特点（见图1、2）： ■ 兼有中、高真空泵双重性能。 ■ 0.1~2Pa，抽速达到最大值，比分子泵高出一倍多。 ■ 能获得清洁真空，尤其能获得清洁中真空。 ■ 泵口可360°转动，不需连接弯头，抽气效率100%。 图1 分子增压泵转子的示意图■ 能耗